EBIS (Electron Beam Ion Source)电子离子源 2015年5月26日 汪经理 电话:17717301704两个汝铁硼永磁环提供压缩电子束的磁场,这些将被安装在真空室中为离子源提供烤焙, 磁场强度:400mT阱深:60mm电子能量:最高20kev最大束流:200mA