UHP泄压/背压VCR型调节器 (1/4″)
DRA77系列是一款适用于超高纯度半导体生产线、特种气体管线、散装气体管线及其他设施管线的低压UHP VCR型泄压/背压减压调节器。
- 内部表面处理达到B.A. 25Ra、E.P. 10Ra或5Ra微英寸,适用于半导体生产线等高洁净度要求的应用场合。
- 可根据需求选择2端口、3端口或4端口使用。
- 根据型号不同,调节压力范围从0.3bar(5psig)到最高20bar(290psig)。
- 所有的焊接、组装、测试、清洗等工艺均在100级和10级洁净室内完成。
- 采用本公司专利的Push and Lock调节手柄,在使用过程中有效防止由于气体管线的微小振动或外部因素导致的初始设定值发生微小变化,操作更加方便。按下手柄可完全防止设定值变化,拉起手柄则可以自由调节到所需压力。
规格
接口:
- DRA77-A002S-xxx-4HP-GxS: 1/4″ 内螺纹 (H.P.I.C)
- DRA77-A002S-xxx-4FS-GxS: 1/4″ 内螺纹
- DRA77-A002S-xxx-4MS-GxS: 1/4″ 外螺纹
设计压力:
- 最大额定压力的150%
泄漏率认证:
- 认证为 1 x 10⁻⁹ atm cc/sec,使用氦气可检测。
主体材料:
- DRA77-A002x-xxx-xHPGxS: 316L B.A. – 25Ra
- DRA77-B002x-xxx-xHP-GxS: 316L E.P. – 10Ra
- DRA77-C002x-xxx-xHP-GxS: 316L E.P. (P.E.P.) – 5Ra
- DRA77-D002x-xxx-xHP-GxS: 316L VAR E.P. – 10Ra
- DRA77-E002x-xxx-xHP-GxS: 316L VAR (P.E.P.) – 5Ra
阀盖材料:
- 镀镍黄铜(可选不锈钢 316L)
膜片:
- DRA77-x002S-xxx-xHP-GxS: STS 316L
- DRA77-x002H-xxx-xHP-GxS: Hastelloy-C22
主阀:
- DRA77-B002S-xxx-xHP-GxS: 标准不锈钢 316L
- DRA77-B002H-xxx-xHP-GxS: 可选 Hastelloy-C22
阀弹簧:
- DRA77-B002S-xxx-xHP-GxS: 标准不锈钢 316L
- DRA77-B002H-xxx-xHP-GxS: 可选 Hastelloy-C22
阀座:
- DRA77-B002S-xPx-xHP-GxS: PCTFE
- DRA77-B002S-xTx-xHP-GxS: 特氟龙
- DRA77-B002S-xVx-xHP-GxS: Vespel
压力范围:
- DRA77-B000S-Lxx-xHP-GxS: 2bar ~ 20bar (29psi ~ 290psi)
出口压力范围:
- DRA77-x002x-xxS-xHP-GxS: 2bar (29psi)
- DRA77-x005x-xxS-xHP-GxS: 5bar (72psi)
- DRA77-x010x-xxS-xHP-GxS: 10bar (100psi)
- DRA77-x020x-xxS-xHP-GxS: 20bar (290psi)
工作温度:
- PCTFE: -40°C ~ +60°C (-40°F ~ +140°F)
- 特氟龙: -40°C ~ +70°C (-40°F ~ +165°F)
- Vespel: -40°C ~ +170°C (-40°F ~ +350°F)
流量能力:
- DRA77-B002x-xxS-4HP-GxS: Cv=0.2 (标准)