Dover Motion精密垂直平台、Dover Motion垂直升降平台、Dover Motion垂直升降平台ZE-05、Dover Motion垂直升降平台ZE-10、Dover Motion垂直升降平台ZE-15
晶圆检测、扫描与探测应用
Dover Motion的精密垂直平台——ZE™，提供了一种非常紧凑、精确的垂直运动实现方式。该垂直升降平台专为满足晶圆检测、扫描和探测应用的严苛要求而设计，能够实现极其平直、平滑且可重复的运动。采用薄型设计，提供 0.5 英寸至 1.5 英寸多种行程选项。
Precision Vertical Stage – ZE™ Specifications
| Base Model | ZE-05 | ZE-10 | ZE-15 |
|---|---|---|---|
| Travel (mm) | 12.5 | 25 | 38 |
| Travel (in) | 0.5 | 1 | 1.5 |
| Positional Accuracy (±μm)*1 | 38 | 76 | 114 |
| Bi-directional Repeatability (± μm) | 1.5 | 1.5 | 1.5 |
| Load Capacity (for all, kg)*2 | 12.5 | 12.5 | 12.5 |
| Flatness & Straightness (μm TIR) | 5 | 10 | 15 |
| Total Mass (kg) | 7.4 | 9.1 | 13.1 |
描述
Dover ZE™平台在四个角各配备精密、非循环式导轨，确保在整个行程范围内俯仰和偏摆角保持在 15 角秒以下。该精密垂直平台提供 0.5 英寸和 1 英寸两种行程版本，并采用紧凑的收缩高度设计，以最大限度减小平台尺寸。8 英寸见方的安装板可使负载与提升力保持在同一轴线上，无需悬臂承载。
我们的精密垂直平台采用 NEMA 23 机座电机（步进或伺服可选），通过丝杠驱动沿楔形块运动的凸轮从动件。这种设计可实现高分辨率，同时我们的消隙摩擦螺母确保了优异的重复定位精度。每个平台均配备精密霍尔效应限位开关，并连接至便捷的可锁紧 D-sub 小型连接器。丝杠螺距、楔形机构传动比、电机及控制器共同决定了 ZE™平台的分辨率。
设计特点
薄型设计，无需悬臂
优异的直线度和重复性
消隙摩擦螺母
选配项
电机选项：可选用步进电机或伺服电机
反馈选项：可选用旋转编码器
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应用
我们的 ZE™ 平台广泛应用于晶圆检测、扫描和探测等应用领域。
