Dover微型直线平台、MMX-Z-25微型直线平台、MMX直线平台、MMX-Z-25平台
卓越的机械刚度和伺服带宽
MXX-Z-25是一款微型直线平台,其执行器专为安装于台式仪器及狭小空间而设计。这款紧凑型直线平台具有卓越的机械刚度和伺服带宽,是高通量成像应用的理想之选。
MMX-Z-25微型直线平台设计特点
独特的电机设计,使紧凑型直线执行器运动更平滑,并具有业界领先的速度稳定性
我们的微型直线平台内部采用无刷、无铁芯直线伺服电机,可实现高速运行且免维护,是高通量应用的理想选择。此外,它能提供无齿槽效应的平滑运动,并具备出色的 6 μm TIR 精度和 0.4 ± μm 的重复定位精度。
平衡能力
| 负载 | 平衡方式 |
|---|---|
| < 0.2 kg | 无需平衡 |
| 0.2 kg – 1.5 kg | 磁性平衡 |
| 1.5 kg – 4.5 kg | 气动平衡 |
采用直线直接驱动电机技术,在 1 英寸行程定位器中实现最小外形尺寸
直线直接驱动电机技术采用直接动力传递机制,在大多数情况下是传统机械传动系统的更优替代方案,为用户带来诸多好处。这些好处包括:更高的精度、更少的磨损、更快的响应时间以及更安静的操作,实现无缝集成。
以小尺寸封装内最强大的伺服电机设计,降低循环时间
MMX直线平台采用高精度防蠕变交叉滚柱导轨,在薄型封装内实现极其平滑的运动、高刚度和可靠性。这使得无需增加整体高度即可提高通量。

借助高刚度交叉滚柱导轨和强劲电机,实现快速稳定,提高通量
MMX交叉滚柱导轨
来自高分辨率编码器反馈和伺服控制的同类最佳精度
微型直线平台 MMX-Z-25提供 6 μm TIR 精度。此外,它还配备可调安装座,用于外部可调的限位传感器。
选配项
电机选项:可提供无铁芯直线直接驱动伺服电机
反馈选项:可提供模拟或数字输出的直线编码器(1 微米或 0.1 微米分辨率为标准配置,其他分辨率可根据要求提供)
应用
对于高通量物镜调焦应用,MMX-Z-25平台提供卓越的机械刚度和伺服刚度,可优化以下运动:
焦平面定位:Z 轴物镜定位移动(小于 5 微米)通常可在 20 毫秒内完成,与 XY 轴步进运动并行进行
帧捕获:到位稳定性是生成高质量图像的关键;位置稳定性/抖动通常小于 100 纳米
节省空间:紧凑型直线执行器,设计用于安装在台式仪器内部
