Dover motion高精度垂直平台ZE™晶圆检测、扫描和探针应用

晶圆检测、扫描与探针应用

Dover Motion 的 高精度垂直平台 – ZE™ 提供了一种 紧凑且高精度的垂直运动解决方案。该垂直升降平台专为满足晶圆检测、扫描和探针应用的高要求而设计，能够实现 极其直线、平滑且可重复的运动。

平台提供多种行程选择，范围从 0.5 英寸到 1.5 英寸，同时保持 低矮的整体设计。

高精度垂直平台 – ZE™ 技术参数

基本型号	ZE-05	ZE-10	ZE-15
行程 (mm)	12.5	25	38
行程 (in)	0.5	1	1.5
定位精度 (±μm)*¹	38	76	114
双向重复精度 (± μm)	1.5	1.5	1.5
负载能力 (kg)*²	12.5	12.5	12.5
平整度 & 直线度 (μm TIR)	5	10	15
总质量 (kg)	7.4	9.1	13.1

*1 使用步进电机；开环控制。采用编码器反馈或补偿后可提高精度。

Dover ZE™ 高精度垂直平台描述

在 Dover ZE™ 平台中，四个角落配备的 高精度非循环导轨 可在全行程内将俯仰和偏航控制在 15 弧秒以下。提供 0.5 英寸和 1 英寸行程 的版本，并采用 低矮设计，最大限度减小平台尺寸。8 英寸方形安装板可将负载置于升力方向上，无需悬臂支撑负载。

平台采用 NEMA 23 规格电机（步进或伺服）连接丝杠，通过 凸轮随动器沿楔形导轨 运动，实现高分辨率定位。同时，防回程摩擦螺母 确保优异的重复精度。每个平台配备高精度霍尔效应限位开关，并通过方便的锁定式 D-sub 微型连接器输出。丝杠导程、楔形机构比例、电机及控制器共同决定 ZE™ 平台的定位分辨率。