Dover motion SmartStage™ XY线性电机平台一体式定位平台

Dover motion SmartStage™ XY线性电机平台一体式定位平台

SmartStage™ XY 一体式平台

SmartStage™ XY 一体式定位平台是一款低外形的 XY 线性电机平台,控制器物理内置于平台结构中,专为高精度定位设计。该平台采用刚性交叉滚柱轴承(crossed roller bearings)设计,以实现卓越性能。

主要特点:

  • 结构更刚性:比分体堆叠系统具有更高的带宽和性能

  • 体积更紧凑

  • 控制器内置于平台结构中

  • 单根电源及通信合并线缆

  • 加工实现正交度

SmartStage™ XYM 一体式平台规格

参数50mm 行程75mm 行程
行程50 mm75 mm
位置反馈 – 编码器分辨率*5 nm5 nm
全程精度(2σ, μm)*¹10 μm12 μm
双向重复性(2σ, μm)0.8 μm0.8 μm
回零重复性(μm)1 μm1 μm
最小移动步距(nm)100 nm100 nm
静止稳定性(± nm)30 nm30 nm
承载能力(kg)*²10 kg10 kg
最大加速度(m/s²)*³5 m/s²5 m/s²
最大速度(m/s)*³0.7 m/s0.8 m/s
平直度与直线度(μm TIR)*⁴3 μm4 μm
总质量(kg)2.95 kg2.95 kg
移动质量 – 由下轴驱动(kg)2.27 kg2.27 kg
移动质量 – 由上轴驱动(kg)0.94 kg0.94 kg

Dover motion SmartStage™ XY线性电机平台一体式定位平台描述

Dover Motion SmartStage™ 一体式线性电机平台具有一个专门设计的单体中心,将上下轴连接在一起,使得平台具有更高的刚性和紧凑性,并且在轴之间实现了加工正交度。

硬件灵活性:

独特、紧凑的集成运动平台与迷你化控制器,并且只有一根合并的电源和通信电缆。

易于集成:在仪器内占用最小空间,减少了复杂性和零部件数量。

集成解决方案:可以选择将多个平台连接在一起,提供更多灵活性。

性能:

精确的高性能运动控制,以及支持的专用软件工具,适用于最苛刻的应用需求。

卓越的性价比:通过创新的专利系统架构实现。

长寿命:安静的无刷线性电机、非接触式编码器、交叉滚柱线性轴承。

可选项:

50x50mm 和 75x75mm 行程长度 可选

应用

对于需要高刚性的精确高通量成像应用,SmartStage™ 一体式平台凭借刚性交叉滚柱轴承和集成的 XY 一体式结构,满足了这一需求。