Dover motion SmartStage™ XY线性电机平台一体式定位平台

SmartStage™ XY 一体式平台
SmartStage™ XY 一体式定位平台是一款低外形的 XY 线性电机平台,控制器物理内置于平台结构中,专为高精度定位设计。该平台采用刚性交叉滚柱轴承(crossed roller bearings)设计,以实现卓越性能。
主要特点:
结构更刚性:比分体堆叠系统具有更高的带宽和性能
体积更紧凑
控制器内置于平台结构中
单根电源及通信合并线缆
加工实现正交度
SmartStage™ XYM 一体式平台规格
| 参数 | 50mm 行程 | 75mm 行程 |
|---|---|---|
| 行程 | 50 mm | 75 mm |
| 位置反馈 – 编码器分辨率* | 5 nm | 5 nm |
| 全程精度(2σ, μm)*¹ | 10 μm | 12 μm |
| 双向重复性(2σ, μm) | 0.8 μm | 0.8 μm |
| 回零重复性(μm) | 1 μm | 1 μm |
| 最小移动步距(nm) | 100 nm | 100 nm |
| 静止稳定性(± nm) | 30 nm | 30 nm |
| 承载能力(kg)*² | 10 kg | 10 kg |
| 最大加速度(m/s²)*³ | 5 m/s² | 5 m/s² |
| 最大速度(m/s)*³ | 0.7 m/s | 0.8 m/s |
| 平直度与直线度(μm TIR)*⁴ | 3 μm | 4 μm |
| 总质量(kg) | 2.95 kg | 2.95 kg |
| 移动质量 – 由下轴驱动(kg) | 2.27 kg | 2.27 kg |
| 移动质量 – 由上轴驱动(kg) | 0.94 kg | 0.94 kg |
Dover motion SmartStage™ XY线性电机平台一体式定位平台描述
Dover Motion SmartStage™ 一体式线性电机平台具有一个专门设计的单体中心,将上下轴连接在一起,使得平台具有更高的刚性和紧凑性,并且在轴之间实现了加工正交度。
硬件灵活性:
独特、紧凑的集成运动平台与迷你化控制器,并且只有一根合并的电源和通信电缆。
易于集成:在仪器内占用最小空间,减少了复杂性和零部件数量。
集成解决方案:可以选择将多个平台连接在一起,提供更多灵活性。
性能:
精确的高性能运动控制,以及支持的专用软件工具,适用于最苛刻的应用需求。
卓越的性价比:通过创新的专利系统架构实现。
长寿命:安静的无刷线性电机、非接触式编码器、交叉滚柱线性轴承。
可选项:
50x50mm 和 75x75mm 行程长度 可选
应用
对于需要高刚性的精确高通量成像应用,SmartStage™ 一体式平台凭借刚性交叉滚柱轴承和集成的 XY 一体式结构,满足了这一需求。