Dover motion纳米定位平台Z轴方向实现5nm分辨率SmartStage™ Z-50
SmartStage™ Z-50 纳米定位平台技术参数
| 参数 | 数值 | 备注 |
|---|---|---|
| 行程 (mm) | 50 | |
| 位置反馈 – 编码器分辨率 (nm) | 5 | 可提供其他分辨率，详情请联系应用工程师 |
| 负载质量 (g) | 3800 | 可支持其他负载，详情请联系 Dover Motion |
| 全行程精度 (2σ, μm) | <5 | 根据 ISO 230-2 标准测试 |
| 双向重复精度（全行程，2σ, μm） | <0.8 | |
| 回零重复精度 (2σ, μm) | ≤1 | |
| 最小移动量 (nm) | <100 | |
| 步进并稳定时间（1 μm 步长, ±50 nm, ms） | ≤100 | |
| 步进并稳定时间（1 mm 步长, ±50 nm, ms） | ≤250 | |
| 最大速度 (mm/s) | 300 | 受编码器和负载影响 |
| 空载最大加速度 (m/s²) | 10 | 受编码器和负载影响 |
| 平整度 & 直线度 (μm TIR) | 3 | |
| 偏航、俯仰（典型值，μrad） | <150 | |
| 运动部分质量（不含物镜, kg） | 0.44 | |
| 总质量 (kg) | 0.86 |
SmartStage Z-50 纳米定位平台基于 SmartStage 线性系列成熟的紧凑架构，为高性能显微和生命科学仪器提供 精确运动解决方案。
Dover motion纳米定位平台Z轴方向实现5nm分辨率SmartStage™ Z-50主要特点：
紧凑一体化设计，将编码器、插值器、驱动器和运动控制电子模块全部集成在平台内部，实现高定位稳定性，避免外部布线、不良接地及其他因素对反馈信号造成的噪声误差
简化的软件接口，X、Y、Z 轴平台共用统一 API，便于多轴集成
平衡选项 可支持 600 g – 3,800 g 的负载范围，提供更高适用性；
应用
SmartStage Z-50 纳米定位平台是 对焦 / Z 轴定位应用的首选，适用于需要 大行程 且需 快速、精确定位大负载 的场景，包括：
协同运动
用户自定义轮廓模式（UDP）允许平台通过辅助输入实现协同运动。平台可以由另一轴或外部信号源驱动，根据输入信号按照预定义的运动曲线进行运动。
