DOVER MOTION,微型线性平台MMX™-Z-25,高通量目标聚焦应用,MMX-Z-25 是一款微型线性平台,内置驱动器特别适用于台式仪器和小型空间。其紧凑结构提供了优异的机械刚性与伺服带宽,非常适合高通量成像应用。
微型线性平台 – MMX™-Z-25
高通量目标聚焦应用解决方案
规格参数
产品描述
MMX-Z-25 是一款微型线性平台,内置驱动器特别适用于台式仪器和小型空间。其紧凑结构提供了优异的机械刚性与伺服带宽,非常适合高通量成像应用。
技术规格(Specifications)
参数 | 数值 |
---|---|
行程 | 25 mm |
精度 | 6 μm TIR |
重复精度 | ±0.4 μm |
最大负载(带磁性配重) | 1.5 kg |
产品特点(Description)
MMX-Z-25 微型线性平台设计特点
独特电机设计:提供更平稳的运动表现与行业领先的速度稳定性。
无刷无铁芯直线伺服电机:支持高速、免维护,适用于高通量应用;同时具备无齿槽效应的平滑运动,结合 6 μm TIR 精度和 ±0.4 μm 重复精度。
配重能力
小于 0.2 kg:无需配重
0.2 kg – 1.5 kg:使用磁性配重
1.5 kg – 4.5 kg:使用气动配重
体积最小的直驱线性电机平台
采用直驱电机技术,无需传统机械传动,具备更高精度、减少磨损、响应更快、运行更安静等优势,便于集成。
提升效率的紧凑设计
MMX 平台采用高精度防爬滚柱导轨,确保超平稳运动、高刚性与可靠性,同时保持低外形高度,提升通量性能。
快速稳定定位
刚性滚柱导轨与强大电机实现快速定点响应,提高成像效率。
高分辨率反馈系统
配备高分辨率线性编码器和伺服控制系统,实现业内领先的 6 μm TIR 精度,并带有可调限位传感器安装座。
可选配置(Options)
电机选项:无铁芯直驱伺服电机
反馈选项:线性编码器(支持模拟或数字,标准分辨率为 1 或 0.1 微米,其他可定制)
应用领域(Applications)
MMX-Z-25 提供优异的机械刚性与伺服性能,专为高通量聚焦应用设计,适用于:
焦平面定位:Z 向聚焦小于 5 微米的位移通常在 20 毫秒内完成,可与 XY 移动同步。
帧捕获:就位稳定性对图像质量至关重要;位置稳定性/抖动通常小于 100 纳米。
节省空间:平台结构紧凑,适合嵌入台式仪器内部。
说明 | 版本 | 下载链接 | 备注 |
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MMX-Z-25 微型线性平台数据表 | Rev A4 | 下载 | 完整技术规格文档 |
电气引脚定义 | 2015-12 | 下载 | 接线说明 |
https://www.bihec.com/dovermotionstage/DOVER MOTION,微型线性平台MMX™-Z-25,高通量目标聚焦应用/