显微镜载物台——XYMR™开放式框架
高精度XY定位
XYMR™显微镜载物台能够为各种基于显微镜的应用实现自动、高精度的XY定位功能。它具有出色的平面度、直线度以及线性定位精度。
描述
这个显微镜载物台通过采用交叉滚子导轨以及经过精密磨削的丝杠,并搭配防背隙螺母,该产品能够实现极高的平面度、直线度以及线性定位精度。它还具备三件式结构。多佛XYR™系列该结构将机械部件的相互垂直关系体现在中央部分,从而实现了极低的整体高度。
由于XYMR™舞台的尺寸仅为1.2英寸,且拥有3英寸大的透明光圈,因此它能够与间距较近、数值孔径较高的物镜及聚光器一起使用。该舞台还配有实心顶部结构。为了简化布线,两个轴上都配备了螺旋锁定的D型微型15针连接器。需要注意的是,由于两个电机都安装在中央部分,因此它们会与下轴一同向同一方向移动。
期权
- 可选电机类型:步进电机
- 可选的反馈方式:旋转编码器
- 下载数据表以获取更多技术细节。
应用程序
XYMR显微镜载物台的应用包括晶圆、掩模及芯片的检测、细胞计数与分析,以及视频形貌测量。
设计特点
- 用于透射应用的3英寸直径透明光圈
- 超薄横截面
- 精密交叉滚子导轨
显微镜载物台——XYMR™开放式框架规格参数
美国Dover motion MMS——微型长行程直线运动平台
美国Dover motion 微型直线平台——MMX™,卓越的性能、可靠性与高性价比
DoverMotion Dover Motion DOF-5-E38-G03-TH02-R3-500 Dover Motion MMS-200 Dover Motion SmartStage™ Z-50 Dover Motion SS-L Dover Motion SS-Z50 DOVER MOTION Z-50 Dover Motion代理 Dover Motion位移台 Dover Motion位移平台 Dover Motion单轴线性定位平台 Dover motion定位台 Dover Motion旋转平台 Dover Motion显微镜载物台 Dover Motion载物台 SmartStage™ XY Monolithic SmartStage 定位器 SmartStage载物台 Z-50 纳米定位台 代理Dover Motion 微型直线平台 显微镜载物台 XYMR™开放式框架 物镜调焦台 电动旋转台 纳米定位平台 美国Dover motion 高精度垂直载物台——ZE™
