美国Dover motion ZE™系列精密垂直载物台、垂直升降平台 ZE-05、ZE-10、ZE-15 旨在满足晶圆检测、扫描和探测应用的高要求  Dover motion进口代理

美国Dover motion ZE™系列精密垂直载物台、垂直升降平台 ZE-05、ZE-10、ZE-15 旨在满足晶圆检测、扫描和探测应用的高要求  Dover motion进口代理

美国Dover Motion ZE™系列精密垂直载物台、垂直升降平台

Precision Vertical Stage – ZE™

Straight, Smooth, and Repeatable 笔直、平滑且可重复

美国Dover Motion ZE™系列精密垂直载物台规格参数：

美国Dover Motion ZE™系列精密垂直载物台描述：

在Dover ZE stage中，四个角中的每个角都采用精密的非再循环方式，在整个行程中保持俯仰和偏航小于15弧秒。0.5英寸和1英寸的旅行版本可与折叠高度，以尽量减少这种精密垂直阶段的大小。8英寸的方形安装板允许负载与提升力成一直线放置，并且消除了悬臂负载的需要。 我们的精密垂直平台包含一个NEMA 23框架电机(步进或伺服)耦合到一个丝杠，沿一个楔形驱动凸轮从动件。这种设计提供了高分辨率，而我们的消隙摩擦螺母确保了出色的可重复性。每一级都包括精密霍尔效应限位开关，这些开关终止于方便的锁定D型超小型连接器。丝杠的螺距、楔形机构的比例、电机和控制器共同决定了我们的ZE载物台的分辨率。

美国Dover Motion ZE™系列精密垂直载物台设计特点：

• 无悬臂的低姿态
• 出色的直线度和可重复性
• 消隙摩擦螺母

美国Dover Motion ZE™系列精密垂直载物台选项：

• 电机选项可用:步进或伺服
• 可用反馈选项:旋转编码器
• 下载数据手册，了解有关电动z轴载物台的更多技术细节
• 查看多佛运动的所有z阶段

美国Dover Motion ZE™系列精密垂直载物台应用：

Dover Motion的ZE载物台在晶圆检测、扫描和探测应用中广受欢迎。