Dover motion DOF-9高带宽物镜调焦平台
DOF物镜调焦平台经过专门设计，可提供更大的行程和更高的带宽（>225 Hz），而成本仅为采用压电电机的压电平台的一小部分。通过将伺服驱动器和运动控制器集成到平台内部，省去了复杂的电缆连接，在保持同等甚至更优性能的同时，相较于同类产品可降低整个系统的成本。
优势
- 所有控制器均内置；仅需一根外部电缆
- 5 nm RMS 位置稳定性
- 25 nm 重复性
- 易于原型开发；适合量产，具有成本效益
DOF 物镜调焦平台
DOF 物镜调焦平台经过专门设计，可提供更大的行程和更高的带宽（>225 Hz），而成本仅为采用压电电机的压电平台的一小部分。通过将伺服驱动器和运动控制器集成到平台内部，省去了复杂的电缆连接，在保持同等甚至更优性能的同时，相较于同类产品可降低整个系统的整体成本。
DOF 的行程超过 5 mm，为工程设计提供了更大的灵活性。压电系统的行程通常仅为 100～300 μm，这种有限的行程往往会导致系统性能方面的妥协。为了增加行程而采用杠杆放大机构等方式，会显著降低调焦平台的谐振频率和刚度。DOF 更大的行程无需额外增加粗定位轴，从而避免了这一问题。此外，DOF 可以直接连接自动对焦（Autofocus）系统，便于集成。
DOF 物镜调焦平台具有以下特点和优势：
硬件灵活性：
- 独特的紧凑型一体化运动平台与微型化控制器设计，仅需一根集成式电源及通信电缆
- 易于集成；可减少仪器内部的安装空间占用、系统复杂度以及零部件数量
- 可为多个运动平台提供集成式解决方案
性能：
- 精密、高性能的运动控制，并配套软件工具，可满足要求严苛的应用需求
- 采用创新的专利系统架构，实现出色的性价比
- 长寿命：采用低噪声无刷直线电机、非接触式编码器以及交叉滚柱直线轴承
可靠性：
- 由经验丰富的供应商提供可靠的产品和技术保障
- 已向全球财富 500 强企业交付超过 22,000 套运动系统
- 准时交付率超过 95%
一体化解决方案：
- 编码器、插补器、驱动器和运动控制器电子系统全部集成在平台内部，使 DOF 能够实现较高的位置保持稳定性，同时避免外部电缆、接地不良以及其他不利因素对反馈信号造成的噪声误差
- DOF 物镜调焦平台与 SmartStage XY 定位平台组成一套完整的一体化控制解决方案，可满足不同应用需求
- X、Y、Z 三个轴采用统一 API，可简化软件架构
精密直线电机：
- DOF 配备高刚性的交叉滚柱轴承和无刷直线伺服电机驱动，可实现更高的伺服带宽以及更快的响应速度，非常适合光学显微镜应用
- DOF 的设计受美国专利 10,367,436 号保护。
规格参数
DOF 物镜调焦平台规格
| 参数 | DOF-5 | DOF-9 |
|---|---|---|
| 行程（mm） | 5 | 9 |
| 负载质量（g） | 0–900 | 0–1500 |
| 分辨率（nm） | 1.25 或 5 | 1.25 或 5 |
| 伺服带宽（Hz） | ≥225 Hz | ≥225 Hz |
| 稳定性（nm RMS） | 5 | 5 |
| 步进及稳定时间（Step & Settle） | 100 nm，在 ±15 nm 范围内，<15 ms | 100 nm，在 ±15 nm 范围内，<15 ms |
| 双向重复性（nm）（500 nm 位移） | ≤25 | ≤25 |
| 回零重复性（µm） | ≤1 | ≤1 |
| 整体尺寸，不含物镜安装座（mm） | 77 × 82 × 30 | 95 × 82 × 30 |
| 最大加速度（m/s²），负载 1 kg | 6 | 6 |
| 最大速度（mm/s） | 125（5 nm 分辨率下） | 125（5 nm 分辨率下） |
| 通信接口 | RS232、RS485 全双工或半双工、CAN 2.0B | RS232、RS485 全双工或半双工、CAN 2.0B |
| 输入 | 步进和方向（Step and Direction） | 步进和方向（Step and Direction） |
其他分辨率规格也可提供。对于低数值孔径（NA）的物镜选项，请联系咨询。
