DOVER MOTION SS-XY-100x100-5nm XY轴线性定位载物台

DOVER MOTION SS-XY-100×100-5nm XY轴线性定位载物台

Dover Motion提供精密运动控制平台解决方案，包括SmartStage™ XY线性定位载物台等产品，支持纳米级分辨率（5纳米）、微米级精度（双向重复性0.8微米），适用于半导体、生物打印、激光加工等领域。其产品具有内置控制器、单轴/双轴设计、高负载能力（10kg）等特性，并支持定制化服务。

	50	100	150	200	5nm 超分辨率*
位置反馈 – 编码器分辨率^**	5 纳米	5 纳米	5 纳米	5 纳米
精度 (2σ, μm)^*1	10	12	14	16
编码器分度误差（3-sigma）（nm）	–	输入：-	–	–	10 纳米
双向重复性 (2σ, μm)	0.8	0.8	0.8	0.8
回程重复性（微米）	1	1	1	1
最小移动 (nm)	100	100	100	100
保持稳定性 (± nm)	30	30	30	30
负载能力 (kg) ^*2	10	10	10	10
最大加速度 (m/s2) ^*3	10	10	10	10
最大速度 (米/秒) ^*3	0.6	1	1	1
平面度和直线度（μm TIR）^*4	3	4	6	6
总质量（每个轴）（千克）	0.8	1.1	1.4	1.7

*推荐用于TDI扫描应用

** 其他分辨率可供选择，有关选项请联系应用工程师
*1 精度为2点斜率校正
*2 超过10kg的负载请联系我们的应用工程师。
*3 最大加速度和速度取决于分辨率和负载。
*4 线性轴必须安装在水平面上，详情请参阅数据手册

硬件敏捷性：

性能：

通过 SmartStage 线性舞台，DOVER MOTION提供了具有创新性和专利系统架构（美国专利 10,374,530，美国专利 10,367,436）的出色性价比。DOVER MOTION的静音无刷直线电机、非接触式编码器和交叉滚柱直线轴承提供了耐用性和持久的性能。

可靠性:

Dover Motion是一家在运动控制市场中享有可靠声誉的供应商。我们已经向全球财富500强公司发货了超过22,000套运动系统。我们的交货准时率超过95%，请放心使用。

综合解决方案：

通过将编码器、插补器、驱动器和运动控制器电子设备全部包含在运动体内，DOVER MOTION SmartStage 位置器能够实现高定位稳定性，并避免由外部电缆、接地不良和其他对反馈信号的不利影响引入的噪声误差。
SmartStage™ 单轴舞台和 DOF-5 目标聚焦舞台的生态系统为您的应用提供了一个集成的控制解决方案。此外，您将获得用于Dover Motion产品的名为 Motion Synergy API的全功能运动控制软件API和用户界面解决方案。

精密直线电机：

Dover Motion的无铁损耗线性电机技术具有新颖的磁拓扑结构，优化了高伺服带宽和整个行程中的均匀力，并且与基于螺杆的位置定位器相比没有反程。这使得SmartStage XY轴在需要高通量步进和稳定或恒速扫描的应用中能够表现出色。

步进测试结果：在36毫秒内，20次（每个方向10次）移动400微米，稳定在正负25纳米以内
测试在具有1.25纳米分辨率编码器和200克负载的SS-XY-50×50上进行，起始位置为0毫米、25毫米和45毫米。