DOVER MOTION的精密垂直平台——ZE™，提供了一种非常紧凑且精确的垂直运动实现方式。DOVER MOTION该平台专为满足晶圆检测、扫描和探针测试等应用的高要求而设计，能够提供极其笔直、平稳且可重复的运动。在低剖面设计下，提供从0.5英寸到1.5英寸的多种行程选择。

DOVER MOTION精密垂直平台 – ZE™ 规格:

*1 步进电机；开环。通过编码器反馈或补偿可提高精度。

*2请联系我们的应用工程师，以处理超出规格的负载。

在Dover ZE™ 阶段，四个角落的精密非循环导轨确保在全行程中俯仰角保持在15角秒以内。0.5英寸和1英寸行程版本均提供折叠高度，以最小化该精密垂直平台的尺寸。8英寸方形安装板允许负载与升力方向对齐，从而无需悬臂支撑负载。

Dover Motion的精密垂直平台采用NEMA 23框架电机（步进式或伺服式）与导程螺杆相连，通过楔块驱动凸轮跟随器沿楔块移动。这种设计提供了高分辨率，而我们的防反向间隙摩擦螺母则确保了出色的重复精度。每个平台都配备了精密霍尔效应限位开关，这些开关连接到方便且带锁的D子迷你连接器上。导程螺杆的导程、楔块机构、电机和控制器共同决定了我们ZE™平台的解析度。

DOVER MOTION精密垂直平台设计特点

• 低剖面，无悬挑
• 出色的直线度和重复性
• 防背隙摩擦螺母

DOVER MOTION精密垂直平台选项

• 可选电机类型：步进电机或伺服电机
• 可用反馈选项：旋转编码器