代理Dover Motion SmartStage™ SS-XY-100×100-100nm XY轴线性载物台
Dover Motion SmartStage™ 线性定位平台
Dover Motion SmartStage™ 线性定位平台,可作为用于单轴的 SmartStage Linear 或用于双轴的 SmartStage™™ XY,具有一系列行程尺寸和选项,可满足您的精密运动需求。
Dover Motion SmartStage™ XY 的优势
- 里面有 ALL 控件;一根外部电缆
- 5 nm 分辨率
- 0.8 um 双向重复精度
- 易于原型设计
- 经济高效的生产
Dover Motion SmartStage™ SS-XY-100×100-100nm线性定位平台规格:
行程 | 50 | 100 | 150 | 200 | 5nm 超分辨率* |
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位置反馈 – 编码器分辨率** | 5 纳米 | 5 纳米 | 5 纳米 | 5 纳米 | |
精度 (2σ, μm) *1 | 10 | 12 | 14 | 16 | |
编码器电子细分误差 (3-sigma) (nm) | – | – | – | – | 10 纳米 |
双向重复性 (2σ, μm) | 0.8 | 0.8 | 0.8 | 0.8 | |
归位重复性 (μm) | 1 | 1 | 1 | 1 | |
最小移动 (nm) | 100 | 100 | 100 | 100 | |
保持稳定性 (± nm) | 30 | 30 | 30 | 30 | |
负载能力 (kg)*2 | 10 | 10 | 10 | 10 | |
最大加速度 (m/s2)*3 | 10 | 10 | 10 | 10 | |
最大速度 (m/s)*3 | 0.6 | 1 | 1 | 1 | |
平面度和直线度 (μm TIR)*4 | 3 | 4 | 6 | 6 | |
总质量(单个轴) (kg) | 0.8 | 1.1 | 1.4 | 1.7 |
Dover Motion SmartStage™ 定位平台具有以下功能和优势:
硬件敏捷性:
- 独特、紧凑、集成的运动平台和小型化控制器,带有一根组合电源和通信电缆。
- 易于集成;占地面积小,复杂性低,仪器内的部件数量少。
- 多阶段的集成解决方案。
性能:
- 精确、高性能的运动控制 – 以及支持软件工具 – 适用于最苛刻的应用。
- 令人信服的性价比,使用创新的专利系统架构实现。
- 美国专利 10,374,530
- 美国专利 10,367,436
- 使用寿命长:静音无刷直线电机、非接触式编码器、交叉滚子直线轴承。
可靠性:
- 经验丰富的供应商的可靠性和信心。
- 超过 22,000 套运动系统运往全球财富 500 强公司。
- 准时交货率超过 95%。
集成解决方案:
- 通过将编码器、插补器、驱动器和运动控制器电子元件全部包含在载物台内,SmartStage 定位器能够实现高位置稳定性,并避免由外部布线、接地不良和其他对反馈信号的不利影响引起的噪声误差。
- SmartStage XY 和 DOF-5 物镜聚焦平台的生态系统为您的应用提供了集成的控制解决方案。
- 使用 X、Y 和 Z 平台之间的通用 API 简化软件架构。