Dover Motion SmartStage™ Z-50电动直线定位平台
Dover Motion的SmartStage™ Z-50是一款高性能的电动直线定位平台,专为需要高精度、高负载能力和长行程应用的场合设计。以下是关于SmartStage™ Z-50的详细介绍:
一、产品特点
- 高精度:SmartStage™ Z-50采用了先进的直线导轨和精密的伺服电机驱动系统,确保了极高的定位精度和重复定位精度。这使得它非常适合于需要高精度定位的应用,如半导体制造、光学检测、精密机械加工等领域。
- 高负载能力:该平台具有出色的负载能力,能够承受较大的垂直或水平负载,从而满足各种复杂工况下的需求。
- 长行程:SmartStage™ Z-50提供了较长的行程选项,使得它能够在较大的工作区域内进行稳定的直线运动。
- 集成控制器:该平台集成了高性能的控制器,支持多种通信协议,如EtherCAT、CANopen等,方便与各种控制系统进行集成。
- 易于编程和控制:SmartStage™ Z-50提供了丰富的编程接口和控制选项,使得用户能够轻松实现复杂的运动控制算法和轨迹规划。
二、应用领域
SmartStage™ Z-50广泛应用于各种需要高精度直线定位的领域,包括但不限于:
- 半导体制造:在半导体制造过程中,SmartStage™ Z-50可用于晶圆传输、光刻对准等关键步骤,确保制造过程的高精度和稳定性。
- 光学检测:在光学检测领域,SmartStage™ Z-50可用于精确控制待测物体的位置,以实现高精度的光学测量和分析。
- 精密机械加工:在精密机械加工中,SmartStage™ Z-50可用于控制刀具或工件的位置,以实现高精度的切削和加工。
- 自动化装配:在自动化装配线上,SmartStage™ Z-50可用于精确控制零部件的位置和姿态,以提高装配效率和准确性。
Dover Motion SmartStage™ Z-50 纳米定位台
Dover Motion 的纳米定位平台 SmartStage Z-50 为 Z 平台应用提供了行程距离和精度的独特组合。
- 恒力平衡重适用于各种质量范围(600 g-3,800 g)
- 50 毫米行程
- 所有控制装置均在内部;一根外部电缆
- 5纳米分辨率
- 0.8 um 双向重复性
- 易于原型制作;生产成本效益高