DAEIL SYSTEMS主动气动隔振系统 DVIA-P 系列：
DVIA-P 系列简介:
VIA-P 系列是先进的主动气动隔振系统，采用气动伺服阀执行器来
控制低频振动，稳定带有超精密电动线性平台的半导体计量设备。
线性平台。DVIA-P 系列集成了极其灵敏的传感器和功能强大的气动伺服执行器、
产生巨大的力，以抵消来自建筑物地面的振动，并为微米级测量提供超快的稳定时间。
DVIA-P 系列采用了极其灵敏的传感器和强大的气动伺服驱动器，可产生巨大的力来抵消来自建筑物地面的振动，并提供超快的沉降时间，从而实现无干扰的纳米分辨率成像。
卓越的振动隔离性能
DVIA-P 系列内置先进的反馈和前馈振动控制算法、
在 2 Hz 频率下，六个自由度的振动控制率为 40 – 70%。
支持移动舞台应用的强大气动执行器
由于气动执行器产生的巨大力量，DVIA-P 系列在本质上比被动隔振系统更坚硬。
气动执行器产生的巨大力量。气动执行器产生的巨大力量可支持
集成了电动线性平台的半导体/显示器计量设备
DAEIL SYSTEMS主动气动隔振系统 DVIA-P系列
智能控制系统
DVIA-P 系列数字控制器采用一个 19 通道 16 位 A/D 和一个 10 通道 24 位 D/A
转换器对振动进行同步采样。数字控制器通过不断
数字控制器通过不断计算所有振动源来控制系统，然后发送信号驱动气动执行器。
主动振动隔离
六个自由度的主动振动隔离
DVIA-P 系列可控制六个自由度的振动，包括三个平移运动度（X、Y 和 Z）和三个旋转运动度（俯仰、滚动和偏航）。
(X、Y 和 Z）以及三个旋转运动度（俯仰、滚动和偏航）。
