韩国DAEIL SYSTEMS,DVIA-ML 系列,低矮型主动隔振系统,为重型电子显微镜提供基础平台,为半导体计量设备提供具有具体结构的有源隔离器

高级传感器放大器板 电路，可获取低至 0.3 Hz 左右的振动信号

GS-ONE 的输出使用专用传感器放大器进行放大 专门在低频下增加增益的板电路。这种放大 确保小的低频信号更容易被检测和使用。 除了这种基于硬件的放大之外，还应用了数字滤波器以进一步增强 信号。该滤波器旨在提高低频时的增益，校正任何 否则可能会发生的衰减。 由于这些硬件和软件校正，GS-ONE 输出对 检测和处理低至 0.3 Hz 左右的振动。这确保了即使 精确捕获低频振动，实现主动隔振系统 即使在这些频率下也能发挥最佳功能。此详细说明强调了硬件 （放大器电路）和软件（数字滤波器）协同工作以增强低频 GS-ONE 传感器的性能。先进的传感器放大器板放大了 低频的速度传感器，数字滤波器有效地校正这些增益 捕获低至约 0.3 Hz 的振动信号。这实现了出色的振动 1 Hz 时的隔离性能

高性能数字信号 处理器对振动的响应时间为 0.0005 秒

DVIA-ML 系列配备了高性能 浮点数字信号处理器 （DSP），提供 1800 MFLOPS 和 2400 MIPS 可实现快速、精确的振动响应。它具有 16 位 A/D 具有 19 个通道的转换器和具有 10 个通道的 24 位 D/A 转换器 频道，确保数据采样准确同步。利用先进的数字技术 信号处理和精确的转换器，该系统可以检测和响应振动 延迟最小，使其成为高精度隔振应用的理想选择。

磁场小于 0.05μT，可实现最佳电子显微镜性能。

DVIA-ML 系列经过精心设计，可保持低于 0.05μT 的极低磁场， 这对于防止干扰高灵敏度电子显微镜至关重要。电子显微镜 / 特别高分辨率的型号，对磁场极其敏感， 因为即使是很小的波动也会使电子束失真并影响图像清晰度。 通过将磁场最小化到如此低的水平，DVIA-ML 系列确保电子显微镜可以在没有磁干扰风险的情况下运行。 允许更精确和准确的成像和测量。这对于需要纳米或亚纳米分辨率的应用尤为重要。 即使是很小的干扰也可能导致严重的数据不准确。

全新的反馈控制可实现开环调谐的优化。

反馈控制系统不断测量隔离的质量振动，并利用电磁致动器来产生相等和 相反的力来减弱孤立质量上的振动。尽管隔离系统开箱即用，但调整反馈开环可以优化 通过根据隔离质量调整增益并使用新的和先进的陷波滤波器来考虑结构共振或振动源，从而提高隔离性能。

先进的前馈控制 显著提高低频 隔振性能。

前馈控制使用实时地面传感器测量来检测 vibration 并向执行器发送信号，以在地板振动之前取消地板振动 传输到孤立的肿块。DVIA-ML 前馈控制显著提高了 隔振性能。通过动态控制，前馈控制很容易适应 以适应设施中不断变化的振动水平，并且不需要不断重新调整即可提供 出色的性能。

新的 PID 调节软件、
更多的 PID 增益、用于稳定性和性能的滤波器
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DVIA-ML1000 的新调谐软件提供了更多的滤波器和增益，以 更有效地控制振动。的 滤波器槽从 3 增加到 5，这使我们能够精细而准确地调整 主动隔振系统。这 新的前馈 D 增益和 D 频率 （Hz） 为调谐有源器件提供了出色的稳定性 系统低于 10 Hz。特别地， 我们能够使用新的前馈 D 增益控制将振动衰减到 0.5 Hz 以下。 出色的隔振性能 性能。新的调谐软件提供 0.1 Hz 的开环传递函数 使我们能够准确检查 相位裕量，以便我们可以稳定地调整增益值以获得出色的低频 隔振性能。