韩国DAEIL SYSTEMS,主动气动隔振系统,DVIA-P 系列,2 Hz 时隔振 40 – 70%,最大负载能力：50000 公斤,专为半导体计量而设计

杨辉 19821065355（微信同号）

韩国DAEIL SYSTEMS,主动气动隔振系统,DVIA-P 系列,2 Hz 时隔振 40 – 70%,最大负载能力：50000 公斤

主动气动隔振系统

  • 2 Hz 时隔振 40 – 70%
  • 最大负载能力：50000 公斤
  • 被动系统：气动隔振
  • 设计用于隔离半导体计量设备
  • 强大的气动伺服阀执行器
  • 反馈和前馈振动控制算法

主动气动隔振系统

DVIA-P 系列

专为半导体计量而设计

DVIA-P 系列是先进的主动式气动隔振系统，采用气动伺服阀执行器来控制
低频振动，并通过超精密电动
线性平台稳定半导体计量设备。DVIA-P 系列结合了极其灵敏的传感器和强大的气动伺服驱动器，
可产生巨大的力来抵消来自建筑物地板的传入振动，并提供
超快的稳定时间，以实现纳米分辨率成像，而不会受到任何干扰。

卓越的隔振性能

DVIA-P 系列中嵌入了先进的反馈和前馈振动控制算法，
可在 6 个自由度下在 2 Hz 下提供 40 – 70% 的振动。

专为半导体
计量设备设计

 

DVIA-P 系列平台前馈控制系统基于实时模拟输入和加速度数据，可有效
补偿电动线性平台引起的残余振动。当线性平台以较大的加速度
和质量行走时，出现大位移时，DVIA-P 系列的加速度反馈控制最大限度地减少了位移，
减少了稳定时间，提高了系统的位置精度。此外，如果将实时测量的平台位置位移加速度的模拟输出
连接到控制器，
则可以采用平台前馈系统。SFF 系统产生的力与平台
旋转力矩和平台振动力成正比，可以大大降低线性平台的位置位移。

2 Hz 时隔振 40 – 70%，
≥ Hz 时隔振≥90%。

DVIP-P-series_performance

应用：

光掩模修复

光掩模鉴定

自动化原子力显微镜

Maks 对准器

X 射线计量学

X 射线缺陷检测

电子束光刻系统

非接触式 3D Sufrace 计量

薄薄厚度计量


2 Hz 时隔振 40 – 70% DVIA-P 系列 专为半导体计量而设计 主动气动隔振系统 最大负载能力：50000 公斤 韩国DAEIL SYSTEMS

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