无噪声的纳米级成像

DVIA-M 是世界上最先进的内置主动隔振系统，集成在各种平台中，并用作电子显微镜内部的内置主动隔振系统。

亚赫兹隔振性能

DVIA-M 系列嵌入了最先进的主动振动控制算法，可在六个自由度下提供 1 Hz 时 50% – 80% 的隔振效果，在 2 Hz 时提供 90% 的隔振效果。

内置主动隔振系统

DVIA-M 主动隔振器设计为纳米级成像设备（如电子显微镜）的内置主动隔振系统

反馈和馈送控制算法

DVIA 系列使用反馈控制算法连续检测干扰隔离表面的振动，并立即做出反应以实时减少振动。DVIA 系列采用前馈控制算法，在地板振动传递到安装在主动隔振系统上的设备之前，提前过滤掉地板振动。

所有六个自由度的主动隔振

DVIA 系列控制三个平移度（X、Y 和 Z）和三个旋转度（俯仰、滚动和偏航）的振动。

1 Hz时隔振率为 50% – 80%≥≥2 Hz 时隔振率为 90%

应用

扫描电子显微镜、透射电子显微镜、扫描透射电子显微镜、扫描隧道电子显微镜