主动气动隔振系统DVIA-P 系列
专为半导体计量而设计
DVIA-P 系列是先进的主动式气动隔振系统，采用气动伺服阀执行器来控制低频振动，并通过超精密电动线性平台稳定半导体计量设备。DVIA-P 系列结合了极其灵敏的传感器和强大的气动伺服驱动器，可产生巨大的力来抵消来自建筑物地板的传入振动，并提供超快的稳定时间，以实现纳米级分辨率成像，而不会受到任何干扰。
卓越的隔振性能
DVIA-P 系列中嵌入了先进的反馈和前馈振动控制算法，可在 6 个自由度下在 2 Hz 下提供 40 – 70% 的振动。
专为半导体计量设备设计
DVIA-P 系列平台前馈控制系统基于实时模拟输入和加速度数据，可有效补偿电动线性平台引起的残余振动。当线性平台以较大的加速度和质量行走时，出现大位移时，DVIA-P 系列的加速度反馈控制最大限度地减少了位移，减少了稳定时间，提高了系统的位置精度。此外，如果将实时测量的平台位置位移加速度的模拟输出连接到控制器，则可以采用平台前馈系统。SFF 系统产生的力与平台旋转力矩和平台振动力成正比，可以大大降低线性平台的位置位移。
10 μm 位置精度
位置传感器连续测量隔振系统的位置，然后通过数字信号处理器保持其位置。因此，系统的位置精度得到了显著提高。此外，加速度计可立即检测来自地板或移动平台的振动，然后传输数字信号以作气动执行器以抵消振动。
强大的气动执行器，支持移动舞台应用
由于气动执行器产生的巨大力，DVIA-P 系列本质上比被动隔振系统更坚硬。气动执行器产生很大的力，以支持带有集成电动线性平台的半导体/显示器计量设备
反馈和前馈控制算法
如果隔振系统事先有关于电动线性平台的信息，则系统可以产生与动态线性平台在相反方向上运动的力相等的力。因此，电动线性平台引起的外力被有效地降至最低。
该反馈控制系统采用传感器和执行器来连续检测干扰隔离有效载荷的振动，然后做出反应以最大限度地减少振动。加速度反馈系统不仅从地板上减少，而且有效地最大限度地减少了电动线性平台的振动。
当隔振底座受到振动干扰时，位置反馈通过位置传感器测量位移，位置传感器将信号传输到数字控制器。数字控制器接收到来自传感器的信号后，驱动执行器返回其原始位置，从而提高位置精度。
地板前馈系统以预定义的方式过滤地板振动。当存在已知因素时，例如施加到隔离底座的力、环境振动数据以及需要隔离的设备信息，则使用前馈控制系统。与反馈控制系统不同，前馈系统分析设备的动态特性，并通过试错法调整前馈增益以作执行器。
智能控制系统
DVIA-P 系列的数字控制器采用 A/D 19 通道 16 位和 D/A 10 通道 24 位 D/A转换器来获得振动的同步采样。数字控制器通过不断计算所有振动源来控制系统，然后传输信号以驱动气动执行器。
所有六个自由度的主动隔振
DVIA-P 系列以 6 个自由度控制振动，包括 3 个平移运动度（X、Y 和 Z）和 3 个旋转度（俯仰、滚动和偏航）。
