底座式主动隔振平台
DVIA-MB系列专为电子显微镜设计
DVIA-MB系列是全球最先进的主动隔振系统,专为需要绝对振动控制环境的高性能电子显微镜特别研发。
特征
1.亚赫兹隔振性能
DVIA-MB 系列嵌入了最先进的主动振动控制算法,
可在六个自由度下提供 1 Hz 时 50% – 80% 的隔振效果,在 2 Hz 时提供 90% 的隔振效果。
2.专为高端电子显微镜设计
DVIA-MB 是根据电子显微镜的规格定制的基础平台。DVIA-MB 提供绝对的振动控制环境,使电子显微镜能够在 1 Hz 下提供 50% – 80% 的振动隔离,从而获得生物和非生物标本的高分辨率图像,而电子显微镜极易受到这些低频振动的影响。
3.反馈和馈送控制算法
DVIA 系列使用反馈控制算法连续检测干扰隔离表面的振动,并立即做出反应以实时减少振动。DVIA 系列采用前馈控制算法,在地板振动传递到安装在主动隔振系统上的设备之前,提前过滤掉地板振动。

4.所有六个自由度的主动隔振
DVIA 系列控制三个平移度(X、Y 和 Z)和三个旋转度(俯仰、滚动和偏航)的振动。

性能
• 1Hz低频段 振动抑制率:50%-80%
• ≥2Hz频段 振动抑制率:≥90%
规格
型号 | DVIA-MB1000 | DVIA-MB3000 | DVIA-MB6000 | ||||||
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平台尺寸(长 x 宽 x 高) | 定制 | ||||||||
负载能力 | 500 – 1700 公斤 | 1500 – 3500 公斤 | 3000 – 6000 公斤 | ||||||
驱动器 | 电磁执行器 | ||||||||
最大执行器力 | 垂直: 40 N, 水平: 20 N | 垂直: 80 N, 水平: 40 N | |||||||
自由度 | 6 度 | ||||||||
有源隔离范围 | 0.5 – 100 赫兹 | ||||||||
1 Hz 时的隔振 | 50% – 80% | ||||||||
≥2 Hz 时的隔振 | ≥90% | ||||||||
输入电压 (V) | AC100 – 240V / 50 – 60 赫兹 / 1A | ||||||||
功耗 (W) | 最大 110W,正常运行时 <50 W | ||||||||
工作范围 | 温度 (°C) | 5 – 50 °C | |||||||
湿度 (%) | 20 – 90% | ||||||||
所需气压 | ≥ 0.5 MPa (≥ 5 bar) |
应用
- 扫描电子显微镜技术(Scanning Electron Microscopy, SEM)
- 透射电子显微镜技术(Transmission Electron Microscopy, TEM)
- 扫描透射电子显微镜技术(Scanning Transmission Electron Microscopy, STEM)
- 扫描隧道电子显微镜技术(Scanning Tunneling Electron Microscopy, STEM)
- 核磁共振波谱技术(Nuclear Magnetic Resonance Spectroscopy, NMR)
- 单晶X射线衍射技术(Single Crystal X-ray Diffraction, SC-XRD)