韩国DAEIL SYSTEMS DVIA-MB系列底座式主动隔振平台 专为电子显微镜设计

底座式主动隔振平台

DVIA-MB系列专为电子显微镜设计

DVIA-MB系列是全球最先进的主动隔振系统,专为需要绝对振动控制环境的高性能电子显微镜特别研发。

特征

1.亚赫兹隔振性能

DVIA-MB 系列嵌入了最先进的主动振动控制算法,
可在六个自由度下提供 1 Hz 时 50% – 80% 的隔振效果,在 2 Hz 时提供 90% 的隔振效果。

2.专为高端电子显微镜设计

DVIA-MB 是根据电子显微镜的规格定制的基础平台。DVIA-MB 提供绝对的振动控制环境,使电子显微镜能够在 1 Hz 下提供 50% – 80% 的振动隔离,从而获得生物和非生物标本的高分辨率图像,而电子显微镜极易受到这些低频振动的影响。

3.反馈和馈送控制算法

DVIA 系列使用反馈控制算法连续检测干扰隔离表面的振动,并立即做出反应以实时减少振动。DVIA 系列采用前馈控制算法,在地板振动传递到安装在主动隔振系统上的设备之前,提前过滤掉地板振动。

Feedback & Feedfoward <br />Control Algorithm

4.所有六个自由度的主动隔振

DVIA 系列控制三个平移度(X、Y 和 Z)和三个旋转度(俯仰、滚动和偏航)的振动。

DVIA-M-Absolute-Control-of-Vibrations-in-All-Six-Degrees-of-Freedom

性能

• 1Hz低频段 振动抑制率:50%-80%
• ≥2Hz频段 振动抑制率:≥90%

DVIA-MB-Performance

规格

型号DVIA-MB1000DVIA-MB3000DVIA-MB6000
平台尺寸(长 x 宽 x 高)定制
负载能力500 – 1700 公斤1500 – 3500 公斤3000 – 6000 公斤
驱动器电磁执行器
最大执行器力垂直: 40 N, 水平: 20 N垂直: 80 N, 水平: 40 N
自由度6 度
有源隔离范围0.5 – 100 赫兹
1 Hz 时的隔振50% – 80%
≥2 Hz 时的隔振≥90%
输入电压 (V)AC100 – 240V / 50 – 60 赫兹 / 1A
功耗 (W)最大 110W,正常运行时 <50 W
工作范围温度 (°C)5 – 50 °C
湿度 (%)20 – 90%
所需气压≥ 0.5 MPa (≥ 5 bar)

应用

  1. 扫描电子显微镜技术(Scanning Electron Microscopy, SEM)
  2. 透射电子显微镜技术(Transmission Electron Microscopy, TEM)
  3. 扫描透射电子显微镜技术(Scanning Transmission Electron Microscopy, STEM)
  4. 扫描隧道电子显微镜技术(Scanning Tunneling Electron Microscopy, STEM)
  5. 核磁共振波谱技术(Nuclear Magnetic Resonance Spectroscopy, NMR)
  6. 单晶X射线衍射技术(Single Crystal X-ray Diffraction, SC-XRD)

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