内置式主动隔振系统
DVIA-M系列无噪纳米级成像的终极解决方案
DVIA-M是全球最先进的内置式主动隔振系统，可集成于各类平台，专为电子显微镜等精密设备提供内置主动隔振解决方案。
特征
1.亚赫兹隔振性能
DVIA-M 系列嵌入了最先进的主动振动控制算法，
可在六个自由度下提供 1 Hz 时 50% – 80% 的隔振效果，在 2 Hz 时提供 90% 的隔振效果。
2.内置主动隔振系统
DVIA-M 主动隔振器设计为纳米级成像设备（如电子显微镜）的内置主动隔振系统。
3.反馈和馈送控制算法
DVIA 系列使用反馈控制算法连续检测干扰隔离表面的振动，并立即做出反应以实时减少振动。DVIA 系列采用前馈控制算法，在地板振动传递到安装在主动隔振系统上的设备之前，提前过滤掉地板振动。
4.所有六个自由度的主动隔振
DVIA 系列控制三个平移度（X、Y 和 Z）和三个旋转度（俯仰、滚动和偏航）的振动。
性能
• 1 Hz 频率下可实现 50%～80% 的隔振效果
• ≥2 Hz 频率下隔振效果高达 ≥90%
• ≥2 Hz 频率下隔振效果高达 ≥90%
规格
| 型号 | DVIA-M1000 | DVIA-M3000 | DVIA-M6000 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 隔离器尺寸（长 x 宽 x 高） | 190 x 190 x 178 毫米 | 232 x 232 x 180 毫米 | 308 x 308 x 180 毫米 | ||||||
| 负载能力 | 500 – 1700 公斤 | 1500 – 3500 公斤 | 3000 – 6000 公斤 | ||||||
| 驱动器 | 电磁执行器 | ||||||||
| 最大执行器力 | 垂直： 40 N， 水平： 20 N | 垂直： 80 N， 水平： 40 N | |||||||
| 自由度 | 6 度 | ||||||||
| 有源隔离范围 | 0.5 – 100 赫兹 | ||||||||
| 1 Hz 时的隔振 | 50% – 80% | ||||||||
| ≥2 Hz 时的隔振 | ≥ 90% | ||||||||
| 输入电压 （V） | AC100 – 240V / 50 – 60 Hz / 1A | ||||||||
| 功耗 （W） | 最大 110W，正常运行时 <50 W | ||||||||
| 工作范围 | 温度 （°C） | 5 – 50 °C | |||||||
| 湿度 （%） | 20 – 90% | ||||||||
| 所需气压 | ≥ 0.5 MPa （5 bar） | ||||||||
应用
- 扫描电子显微镜技术（Scanning Electron Microscopy, SEM）
- 透射电子显微镜技术（Transmission Electron Microscopy, TEM）
- 扫描透射电子显微镜技术（Scanning Transmission Electron Microscopy, STEM）
- 扫描隧道电子显微镜技术（Scanning Tunneling Electron Microscopy, STM）
