主动隔振光学平台
DVIA-MO系列提供卓越的隔振性能
DVIA-MO系列将先进的DVIA-M主动隔振系统与高性能光学平台相结合,为光子学、激光及光谱技术打造绝对受控的隔振环境,尤其满足5Hz以下低频隔振的严苛要求。
特征
1.亚赫兹隔振性能
DVIA-MO 系列嵌入了最先进的主动振动控制算法,可在六个自由度下提供 1 Hz 时 50% – 80% 的隔振效果,在 2 Hz 时提供 90% 的隔振效果。
2.超刚性光学平台
我们的光学平台经久耐用,设计得尽可能坚硬,以最大限度地减少安装在光学平台上的现有光学元件之间的相对运动。

3.反馈和馈送控制算法
DVIA 系列使用反馈控制算法连续检测干扰隔离表面的振动,并立即做出反应以实时减少振动。DVIA 系列采用前馈控制算法,在地板振动传递到安装在主动隔振系统上的设备之前,提前过滤掉地板振动。

4.所有六个自由度的主动隔振
DVIA 系列控制三个平移度(X、Y 和 Z)和三个旋转度(俯仰、滚动和偏航)的振动。

性能
• 1Hz频段:50-80%振动隔离率
• ≥2Hz频段:≥90%振动隔离率
规格
型号 | DVIA-MO1000 | DVIA-MO3000 | DVIA-MO6000 | ||||||
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平台尺寸(长 x 宽 x 高) | 定制 | ||||||||
负载能力 | 500 – 1700 公斤 | 1500 – 3500 公斤 | 3000 – 6000 公斤 | ||||||
驱动器 | 电磁执行器 | ||||||||
最大执行器力 | 垂直: 40 N, 水平: 20 N | 垂直: 80 N, 水平: 40 N | |||||||
自由度 | 6 度 | ||||||||
有源隔离范围 | 0.5 – 100 赫兹 | ||||||||
1 Hz 时的隔振 | 50 – 80% | ||||||||
≥ 2 h 时的隔振 | ≥ 90% | ||||||||
输入电压 (V) | AC100 – 240V / 50 – 60 赫兹 / 1A | ||||||||
功耗 (W) | 最大 110W,正常运行时 <50 W | ||||||||
工作范围 | 温度 (°C) | 5 – 50 °C | |||||||
湿度 (%) | 20 – 90% | ||||||||
所需气压 | ≥ 0.5 MPa (5 巴) |
应用
- 光子学与激光技术
- 全息成像技术
- 光谱分析技术
- 纳米级分辨率显微技术
- 其他需要1Hz频率下≥90%隔振性能的高精密应用