美国Thermionics, e-Gun™,电子枪TM , 多刀位,Hanks HM2 旋转袖珍电子枪™
美国Thermionics, e-Gun™,电子枪TM , 多刀位,Hanks HM2 旋转袖珍电子枪™
蒸发源
系列： 汉克斯
汉克斯 HM2旋转袖珍 e-Gun™
旋转式、多坩埚 e-Gun™
型号 |
权力 |
坩埚 否 |
坩埚体积 |
| 编号 R0607-4 | 6 千瓦 | 4 | 7毫升 |
| 编号 R0610-4 | 6 千瓦 | 4 | 10毫升 |
| 编号 R0615-4 | 6 千瓦 | 4 | 15毫升 |
| R1010-4 系列 | 10 千瓦 | 4 | 10毫升 |
| R1015-4 系列 | 10 千瓦 | 4 | 15毫升 |
| 编号 R1025-4 | 10 千瓦 | 4 | 25毫升 |
模块化磁铁
独特的模块化磁铁概念被整合到旋转口袋 Hanks HM2 e-Gun™ 设计中。这个概念使一个非常紧凑的单元成为可能（见外形图）。Hanks HM2 的所有独特功能都包含在此型号中。Hyper-Unimelt Sweep （低速率或高速率的最佳控制）
高频扫描 （0-200 Hz） 为用户提供了 e-Gun™ 操作的完全灵活性。通过扭动 X-Y 扫描控制器上的旋钮，光束的大小可以改变，以适应被蒸发的材料。这对于光学镀膜和其他材料非常有益，其中光束尺寸在 1-2 Å 到非常高的沉积速率的最佳控制中起着重要作用。规格
功率输出 |
6 千瓦 | 10 千瓦 |
| 7.5 千伏 | 10 kV | |
| 0 至 800 mA | 0 至 1.0 A | |
坩埚体积 |
7/10/15 毫升 | 7/10/15/25 毫升 |
灯丝 |
12 伏交流电 60A | |
电子束 |
270° 偏转 | |
蒸发速率 |
10 kW 时为 1 gm/min 25 cm 处为 3.6 微米 | |
光束光斑尺寸 |
.25“ 圆形（近似值）（光束可通过光束扫描控制器进行电动调节和定位） | |
坩埚 |
OFE 铜缆 | |
烘烤温度 |
120°C （250°F） | |
水 |
70 psi 时为 3.0 gpm（过滤） | |
最小水管尺寸 |
3/8“ 直径 （6/10 kW） | |
压差 |
最小 50 psi | |
X 和 Y 扫描 |
Hyper-Unimelt 扫描（0 至 200 Hz 以上） | |
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