MCALLISTER电子束蒸发源，电子束蒸发系统E-beam 高性能电子束蒸发，电子束蒸发系统E-beam

MCALLISTER电子束蒸发源

MCALLISTER电子束蒸发源是一种超高压兼容源，用于控制金属、半导体和绝缘体的沉积。由于其尺寸小和2¾英寸（CF38）法兰安装，MCALLISTER电子束蒸发源几乎适用于任何现有的特高压室。MCALLISTER电子束蒸发源易于使用和维护，包括水冷、一体式百叶窗、所有电气和机械馈通 坩埚或实心杆 蒸发是通过电子轰击含有蒸发剂的耐火坩埚（各种可用材料）或高达1000 VDC@125 mA（125瓦）的实心棒/线来刺激的。待蒸发的材料位于易于更换的灯丝中心，该灯丝在0-12安培下具有0-12伏的无限可调功率。用户可以在不拆卸整个源的情况下补充蒸发的材料。MCALLISTER电子束蒸发源包括一个使蒸发剂相对于灯丝移动的线性驱动器，为电子束提供焦点调节。通过控制单元前面板上的双表显示灯丝电流和电子束电流/电压。 流量监测器 蒸发物质通量中的小电极收集部分电离环境中存在的离子。初始校准后，此功能允许快速轻松地恢复到已知的沉积速率。 紧凑型尺寸 MCALLISTER电子束蒸发源整个组件安装在标准的2¾”CF法兰上，并将清除1½”管的内径。水输入/输出连接、电源、热电偶和波纹管密封百叶窗的位置很方便。灯丝块可以很容易地拆卸下来，以更换/更换蒸发材料。由于定制制造的成本通常不超过McAllister技术服务公司的标准产品，因此可以在订购时指定法兰到尖端的距离。