美国 Kimball Physics 电子枪电子束发生系统 EGH-6002 / EGPS-6002

描述： 可聚焦的小光斑尺寸高能电子束 1keV至50keV 应用： 普通真空物理学辐射研究地面轰炸半导体研究生物样本辐照 X射线生成等离子体激发荧光研究表面物理研究 功能/选项： 中等束流小光斑尺寸静磁聚焦静磁偏转磁性透镜脉冲能力操作时内部对齐用户可更换的射击装置 5英寸或6.0英寸CF安装特高压技术/可烘烤计算机/远程控制能量范围：1keV至50keV 束流：10 nA至100µA 光斑尺寸：0.5毫米至100毫米安装：4.5英寸CF或6.0英寸CF Kimball Physics EGH-6002电子枪及其配套的EGPS-6002电源是一个完整的子系统，可以连接到用户的真空系统并打开。它可以在非常广泛的能量、电流和功率范围内输送电子。EGH-6002可用于从半导体研究到二次电子发射研究的许多不同应用。该枪可以产生高能、可聚焦、小点的电子束。束能量和束电流都可以在宽范围内独立调节；1keV至50keV的能量和10nA至100μA的电流是标准的。电子束可以通过控制栅极的输入信号进行脉冲。枪的可调光学元件可以适应不同的发散和不同的工作距离。光斑尺寸可以从0.5毫米到10厘米不等。磁聚焦透镜和磁定心偏转提供了低像差的光束控制。此外，阴极到阳极的间距可以在内部调节，以改变导电性。该枪具有可调节的阴极馈通组件，允许点火单元相对于阳极和柱进行机械对准。这种对准可以在枪在全电压下打开光束的情况下实时完成。发射单元的弹药筒（包括阴极、阴极安装架和文纳尔孔径）是用户可更换的，甚至无需从真空室中取出枪。用过的点火装置可以退回工厂进行重建。