美国 Kimball Physics 电子枪电子束发生系统 EGA-1012 EGPS-1012

描述： 大电流、中等直径、低能电子束 5 eV至1000 eV 应用： 表面物理研究真空物理实验电荷中和电子解吸表面擦洗荧光粉测试电离实验半导体加工功能/选项： 束流高达2mA 反馈稳定发射电流用户可更换的点火装置特高压兼容/可烘烤计算机/远程控制光束脉冲选项能量范围：5 eV至1 k eV 束流：1μA至2mA 光斑尺寸：10毫米至25毫米（无聚焦能力）安装：2.75英寸CF 功能/选项：泛光光束、脉冲、双栅格 Kimball Physics EGA-1012电子枪及其配套的EGPS-1012电源适用于各种超高真空（UHV）物理实验、表面物理和低能量下需要高束流的加工应用。它是一个完整的子系统，可以随时连接和打开。束能、束流和束发散都可以独立调节。EGA-1012电子枪使用空间电荷受限的氧化物涂层阴极来产生均匀的泛光束。这种设计允许产生低能量和极低电流的光束。特高压技术贯穿始终。拆下电缆后，电子枪可烘烤至350°C。使用法拉第杯时，除非移除，否则最高温度为65℃。标准阴极是一个高电流、坚固的氧化钇涂层盘（Y2O3）。阴极在寒冷时不会因反复暴露于大气气体或水蒸气而损坏。该枪可以在10-1torr至10-5torr的真空中运行。阴极寿命是真空条件和与阴极温度相关的束流的函数。在良好真空条件下，低电流下的阴极寿命可能在数百小时，甚至超过一千小时。