美国Kimball Physics,电子枪系统,中等能量（最大 30 keV),EFG-7 / EGPS-1017

操作范围

• 能量范围：1 eV 至 100 keV
• 光束电流范围：1 nA 至 20 mA
• 光斑尺寸范围：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）

性能

• 束流稳定性：反馈稳定发射电流控制;优于每小时 ± 0.1%
• 能量稳定性：±每小时 0.01%，全输出时每 8 小时± 0.02%，以最大限度地减少色差

方便

• 客户可更换的点火装置
• 全运行期间的机械对中
• 可存储控件设置
• 电脑遥控器/计量

运营能力

• 快速脉冲/光束消隐
• 偏转 / 光栅
• 枪式法拉第杯

描述

聚焦或均匀的广角低能电子束 10 eV 至 1500 eV 应用：

• 表面物理研究
• 真空物理实验
• 电荷中和
• 电子解吸
• 表面清理
• 荧光粉测试
• 电离实验
• 半导体加工

功能/选项：

• 参数可控性广
• 泛光光束或窄角光束
• 静电聚焦
• 偏转、光栅、脉冲
• 可拆卸喷枪
• 电脑 / 遥控器

能量范围：10 eV 至 1500 eV 光束电流/光斑尺寸：1 nA 至 100 μA 光斑尺寸：1mm 至 100mm 安装：2.75 英寸（23/4 英寸）CF，可拆卸选项 特点/选项：窄角光束或泛光光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉冲 Kimball Physics EFG-7 电子枪及其匹配的 EGPS-1017 电源旨在用于各种超高真空 （UHV） 物理实验、表面物理实验和加工应用。它是一个完整的子系统，随时可以连接和打开。光束能量、光束电流和光斑尺寸可在很宽的范围内独立调节。 EFG-7 电子枪使用难熔金属阴极产生均匀的泛光光束。枪式设计允许产生低能量和极低电流的光束。标准型号 EFG-7 可产生 1 nA 至 100 μA 的束流和 10 eV 至 1500 eV 的能量。高电流选项提供高达 1 mA 的光束电流。 居中、偏转、光栅和脉冲均作为选项提供。由于该设计已优化为泛洪枪，并使用圆柱形 4 极偏转器，因此当光束聚焦到一个小点时，偏转像差可能会很严重。 全程采用 UHV 技术。该喷枪可以在 10 级真空中运行^-11torr 最多 10^-5torr 用于标准 Ta 盘阴极。电子枪可在去除电缆后烘烤至 350°C。使用法拉第杯时，最大值为 65^oC 除非被删除。