芯片键合机 chip to chip bonder

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在MEMS制造中,经常需要对两个芯片进行精确对准和键合以建造三维结构。芯片键合机可以用来手动键合两个芯片。

简介: 在MEMS制造中,经常需要对两个芯片进行精确对准和键合以建造三维结构。 芯片键合机可以用来手动键合两个芯片。 应用: 芯片准直; 阳极键合; 封装; 各种胶合过程(如:UV、环氧树脂、热胶合等)。 优点: 快速芯片准直; 安全操作; 可以定制用于不同用途; 结构小巧; 简单易用。 特点: 三个线性轴; 三个旋转轴; 可加热到500℃; 阳极键合电压源; 可显微镜下芯片准直; 安全操作。 主要参数: 芯片尺寸 最大:25 x 25 mm 最小:3 x 3 mm 芯片夹持方法:真空 加热盘 最高温度:520℃ 高压电源 电压:直流200V-1500V可调 可调范围 X和Y方向:加热台25mm Z方向:针孔针25mm 旋转角度:自由360° 倾斜角度:±4°    

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