CRYSTAL GmbH 衬底 晶片
标准尺寸或定制
精确的表面和精确的方向
晶体的各向异性使其在研究和开发中有着广泛的应用。CRYSTAL为薄膜应用提供基材，作为目标或为个人应用量身定制，价格公道，质量最高。
衬底/晶片属性
方向:
- (100), (001), (111), (110) 对于立方和四方晶体
- (0001), (1102), (1120), (1010) 对于六边形晶体
其他米勒指数值较高的取向或邻近衬底
定位精度:±0.5°，典型< 0.3°，或更高的要求
衬底/晶片典型尺寸
- 5 mm x 5 mm, 10 mm x 10 mm, 10 mm x 5 mm, 15 mm x 15 mm
- 12,7 mm x 12,7 mm, 20 mm x 20 mm, 25 mm x 25 mm, ø1″, ø2″
侧向公差: +0/-0.05 mm
衬底/晶片标准厚度
- 0.5 mm, 1.0 mm, 其他厚度可根据要求降至0.1毫米
垂直公差:+/- 0.05 mm，或更高要求
衬底/晶片抛光:
- 表面抛光的一面或两面
- 表面质量:放大50倍无划痕
- 显微粗糙度(用干涉仪显微镜测量)
- (横向分辨率:0.64µm，纵向分辨率:理论0.01nm)
- 粗糙度: ( λcut off =0.08 mm)
Ra: < 0.5 nm
Rq : < 1.0 nm
Rt : < 2.0 nm
- 每批都有粗糙度证书
- 根据要求对侧面(圆柱体)进行光学抛光。
衬底的应用
找到按性质和应用分类的衬底。
超导薄膜的制备
| 化学式 | 化学名称 | 非科学-/ 矿物名称 | |
|---|---|---|---|
| Al2O3 | Aluminium oxide | Sapphire | |
| CaF2 | Calcium fluoride | Fluorspar | |
| LaAlO3 | Lanthan aluminate | LAL | |
| (La,Sr)(Al,Ta)O3 | Lanthanum strontium aluminium tantalate | LSAT | |
| MgAl2O4 | Magnesium aluminate | Spinel | |
| MgO | Magnesium oxide | Periclase | |
| SrTiO3 | Strontium titanate | Fabulite, Tausonite | |
| SrTiO3:Nb | Niob doped Strontium titanate | – | |
| TiO2 | Titanium dioxide | Rutile | |
| Y3Al5O12 | Yttrium Aluminium Garnet | YAG | |
| YAlO3 | Yttrium Aluminium Perowskite | YAP | |
| ZrO2:Y | Yttrium stabilised Zirkonium dioxide | YSZ |
III-V型氮化物半导体薄膜的制备
| 化学式 | 化学名称 | 非科学-/ 矿物名称 | |
|---|---|---|---|
| Al2O3 | Aluminium oxide | Sapphire | |
| LiAlO2 | Lithium aluminate | – | |
| MgAl2O4 | Magnesium aluminate | Spinel | |
| MgO | Magnesium oxide | Periclase | |
| Si | Silicon | – | |
| SiC | Silicon carbide | – |
衬底为II-VI化合物半导体/半导体
化学式
| 化学名称 | 非科学-/ 矿物名称 | ||
|---|---|---|---|
| BaTiO3 | Barium titanate | BTO | |
| CdS | Cadmium sulfide | Greenockite | |
| CdSe | Cadmium selenide | Cadmoselite | |
| CdTe | Cadmium telluride | – | |
| Ge | Germanium | – | |
| Si | Silicon | – | |
| ZnO | Zinc oxide | Zincite | |
| ZnS | Zinc sulfide | – | |
| ZnSe | Zinc selenide | – | |
| ZnTe | Zinc telluride | – |
压电/铁电基板
压电的
| 化学式 | 化学名称 | 非科学-/ 矿物名称 | |
|---|---|---|---|
| (1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3) – xPbTiO3 | Lead magnesium niobate – lead titanate | PMN-PT | |
| α-SiO2 | Silicon dioxide, single crystalline | Alpha-quartz |
铁电的
| 化学式 | 化学名称 | 非科学-/ 矿物名称 | |
|---|---|---|---|
| BaTiO3 | Barium titanate | BTO | |
| LiNbO3 | Lithium niobate | LN | |
| LiTaO3 | Lithium tantalate | LT |
闪烁体
| 化学式 | 化学名称 | 非科学-/ 矿物名称 | |
|---|---|---|---|
| YAlO3:Ce | Cerium doped Yttrium Aluminium Perowskite | YAP:Ce |
非晶基板
| 化学式 | 化学名称 | 非科学-/ 矿物名称 | |
|---|---|---|---|
| Al2O3 | Aluminium oxide ceramic | Sapphire ceramic | |
| SiO2 | Silicon dioxide | Amorphous Quartz glass |
双折射衬底
| 化学式 | 化学名称 | 非科学-/ 矿物名称 | |
|---|---|---|---|
| Al2O3 | Aluminium oxide | Sapphire | |
| LiNbO3 | Lithium niobate | LN | |
| MgF2 | Magnesium fluoride | Sellaite | |
| α-SiO2 | Silicon dioxide, single crystalline | Alpha-quartz | |
| TiO2 | Titanium dioxide | Rutile | |
| YVO4 | Yttrium Orthovanadate | YVO |
