CRYSTAL GmbH 衬底 晶片 概况

标准尺寸或定制

精确的表面和精确的方向

晶体的各向异性使其在研究和开发中有着广泛的应用。CRYSTAL为薄膜应用提供基材，作为目标或为个人应用量身定制，价格公道，质量最高。

衬底/晶片属性

方向:

• (100), (001), (111), (110) 对于立方和四方晶体
• (0001), (1102), (1120), (1010) 对于六边形晶体

其他米勒指数值较高的取向或邻近衬底

定位精度:±0.5°，典型< 0.3°，或更高的要求

衬底/晶片典型尺寸

• 5 mm x 5 mm, 10 mm x 10 mm, 10 mm x 5 mm, 15 mm x 15 mm
• 12,7 mm x 12,7 mm, 20 mm x 20 mm, 25 mm x 25 mm, ø1″, ø2″

侧向公差: +0/-0.05 mm

衬底/晶片标准厚度

• 0.5 mm, 1.0 mm, 其他厚度可根据要求降至0.1毫米

垂直公差:+/- 0.05 mm，或更高要求

衬底/晶片抛光:

• 表面抛光的一面或两面
• 表面质量:放大50倍无划痕
• 显微粗糙度(用干涉仪显微镜测量)
• (横向分辨率:0.64µm，纵向分辨率:理论0.01nm)
• 粗糙度: ( λ_cut off =0.08 mm)

          R_a: < 0.5 nm

          R_q : < 1.0 nm

          R_t : < 2.0 nm

• 每批都有粗糙度证书
• 根据要求对侧面(圆柱体)进行光学抛光。

衬底/晶片材料:

可总以下找到正确的衬底/晶片材料（按字母顺序排列衬底）

从 Al₂O₃ 到 ZrO₂:Y