英国Coaxial Power Systems射频发生器,RFG 5K-2-AC科研级射频发生器,RFG 5K-13-AC工业高频电源,RFG 5K-27-AC等离子体射频电源
风冷型号（可选水冷）
RFG 5K-2-AC（5kW / 5000 瓦）
RFG 5K-13-AC（5kW / 5000 瓦）
RFG 5K-27-AC（5kW / 5000 瓦）
RFG 5K-AC（5kW / 5000 瓦）射频发生器是一款精密设备，适用于科学研究和工业应用。其坚固结构采用最新的开关模式和固态设计技术，即使在恶劣环境下也能确保长期无故障运行。设备体积小巧，非常适合机架空间有限的场合使用。
建议将该发生器与手动或自动阻抗匹配网络配合使用，这两种匹配网络均可由 Coaxial Power Systems Ltd 提供——具体详情请参阅单独小册子。该型号标准为风冷（AC），如需，也可提供水冷（WC）版本——水冷型号的详细信息请参见单独手册。
所有型号的主要特点
高效 E 类设计
标准机架安装设计
380-415 VAC（三相）- 标准，208 VAC（三相）- 可选，480 VAC（三相）- 可选
全机架安装，高度 7U（310 mm）
提供模拟和 RS-232 接口
可外部控制输出电压（在溅射涂层应用中非常有用）
反馈控制系统确保设定输出功率保持恒定且可重复
内部校准功率测量，确保整个功率范围内高精度
微处理器显示入射（正向）功率、反射功率及设备状态
精密功率控制，可在 0-100% 范围内完全调节
TTL/CMOS 输入可实现快速脉冲操作
标准频率：2 MHz、13.56 MHz、27.12 MHz（非标准频率可选，请联系厂家）
每台发生器输出功率可在零到最大功率之间完全调节
入射（正向）和反射功率测量经过内部校准，确保整个功率范围内高精度
可选功能（请咨询）
可使用 0–5V 外部电压控制输出功率，这在溅射涂层应用中特别有用，可控制等离子体暗区产生的直流电压，而非直接控制射频功率
物理型号及变体
RFG 5K-2-AC（2 MHz）
RFG 5K-13-AC（13.56 MHz）
RFG 5K-27-AC（27.12 MHz）
尺寸
全机架安装，高度 7U
宽度：445 mm（前面板宽度 482 mm）
长度：700 mm
高度：310 mm
外部连接器最大突出：前面板 16 mm / 后面板 19 mm
重量：最大 70 kg（154 lb）
前面板材质 / 颜色：铝制，RAL7135 浅灰色
机箱及盖板材质：不锈钢
连接器和电缆规格
射频输出连接器：7/16 型 / 50 Ω
用户端口连接器（模拟 & RS-232）：25 针，微型 D 型母头，带 8 mm 4-40 螺柱
交流电源输入连接器 / 电缆：
380-415 VAC 型：AMP 连接器，7 针
208 VAC 型：现场布线，带 2 米固定电缆
480 VAC 型：AMP 连接器，7 针
CEX / 驱动连接器：输入：SMA，同轴微型 / 输出：SMA，同轴微型
脉冲输入连接器：SMA，同轴微型
AMNC 读出连接器（可选）：Lemo 圆形连接器，3 针
接地连接：单个 45° 螺柱安装端子，尺寸 6.35 x 0.81 mm
电气参数
电源输入：
380-415 VAC（三相）- 标准
208 VAC（三相）- 可选
480 VAC（三相）- 可选
输出功率 / 阻抗：5000 W（5 kW）连续 / 50 Ω
输出频率及稳定性：
2 MHz / ±4.1 kHz
13.56 MHz / ±1.4 kHz
27.12 MHz / ±2.7 kHz
接口选项：模拟（标准）、RS-232（可选）、Device-Net（可选）
效率：90%
输出包络纹波：小于满幅的 1%
驻波比（VSWR）能力：可承受任意相位角的 VSWR
谐波输出：比基波低 40 dB 以上
脉冲操作：通过后面板 SMA 输入，最小脉冲宽度 40 μs
外部功率控制信号应使峰值输出在 0 到最大功率之间变化，脉冲占空比从 0 到连续（100% 占空比）
本地控制与远程接口
本地控制（通过前面板操作）：
电源开/关
射频开/关
数字输出功率设定 / 菜单控制旋钮
菜单开关
远程开关：射频开/关控制使能、输出设定开/关
本地开关：x0.1 / x1（输出范围）、CEX-OSC、PULSE-CW、定时器
VFD 显示：正向（入射）功率 / 反射功率 / 反射功率超限
远程操作
定时器
联锁状态（冷却和外部）
主显示上的 AMN 读出（可选）
远程接口（通过用户端口访问）：
射频开/关
入射功率指示
反射功率指示
输出设定 0-5V = 0-100%
远程输出设定请求
环境条件
工作温度：0-40°C（32°F-104°F）
存储温度：0-20°C 至 +65°C（-4 至 149°F）
冷却要求：风冷
其他标准
EN61000-3-2:2006
EN6100-3-3/A2:2005
EN61326-1:2006
EN55011:2009+A1:2010
EN60204-1:2006+A1:2009
UL61010-1:2004
R7.05 机械指令 2006/42/EC
低压指令 2006/95/EC
EMC 2004/108/EC
BS EN ISO 9001:2008
