英国Coaxial Power Systems RFG 50/100/150/300/600-2/13/27 射频发生器,射频电源,高频发生器,Coaxial Power Systems进口代理

主要特点：

• 高效的 E 类设计

• 标准机架安装设计

• 紧凑型半机架，高度 2U（89mm）

• 提供模拟接口和 RS-232 接口

• 110/240 VAC 单相电源

• 可外部控制输出电压

• 反馈控制系统确保设定输出功率保持恒定且可重复

• 微处理器显示入射（正向）功率、反射功率及设备状态

• 精密功率控制，设定点 ±1%

• TTL/CMOS 输入可实现快速脉冲操作

• 标准可用频率：2MHz、13.56MHz 和 27.12MHz（非标准频率可选，请联系厂家）

• 每台发生器的输出功率可在零到最大功率之间完全调节

• 反馈控制系统确保设定输出功率保持恒定且可重复

可选功能（请咨询）：

• 可使用 0–5V 外部电压控制输出功率，这在溅射涂层应用中特别有用，可控制等离子体暗区产生的直流电压，而非直接控制射频功率

物理型号及变体：

• RFG 50/100/150/300/600-2 （2MHz）

• RFG 50/100/150/300/600-13 （13.56MHz）

• RFG 50/100/150/300/600-27 （27.12MHz）

• 其他频率可选，请联系厂家

尺寸：

• 半机架安装，高度 2U

• 长度：502 mm

• 高度：89 mm

• 宽度（不含前面板）：210 mm

• 宽度（含前面板）：241 mm

重量：最大 8 kg（18 lb）

前面板材质 / 颜色：铝制，RAL7135 浅灰色
机箱及盖板材质：不锈钢

连接器和电缆规格

射频输出连接器：N 型 / 50 Ω

用户端口连接器（模拟 & RS-232）：25 针，微型 D 型母头，带 8mm 4-40 螺柱

交流电源输入连接器 / 电缆：IEC 插座输入 + 输出

CEX / 驱动连接器：

• 输入：SMA，同轴微型

• 输出：SMA，同轴微型

脉冲输入连接器：SMA，同轴微型

AMNC 读出连接器（可选）：Lemo 圆形连接器，3 针

接地连接：M4 螺纹套管

电源输入：110-240 VAC，单相（50/60Hz）
其他选项可用，请联系我们获取更多信息

输出功率 / 阻抗：最大连续功率 600W / 50 Ω
（可选型号包括 0-50W / 0-100W / 0-150W / 0-300W / 0-600W）

射频频率稳定性：±0.005%

接口选项：模拟（标准）、RS-232（可选）

功率控制分辨率 – 本地控制：

• 50-100W 型号仅（0.1W 增量分辨率）

• 100-600W 型号仅（1W 增量分辨率）

• 1000W+ 型号仅（5W 增量分辨率）

功率控制分辨率 – 远程控制：
通过模拟远程功率控制可实现更高分辨率，例如 1000W+ 型号可达 0.1W 分辨率

效率：高达 90%

输出包络纹波：小于满幅的 1%

驻波比（VSWR）能力：可承受任意相位角的 VSWR

谐波输出：比基波低 40 dB 以上

脉冲操作：通过后面板 SMA 输入

• 最小脉冲宽度：40 μs（微秒）

• 外部功率控制信号应使峰值输出在 0 到最大功率之间变化，脉冲占空比从 0 到连续（100% 占空比）

本地控制与远程接口

本地控制（通过前面板操作）：

• 电源开/关

• 射频开/关

• 数字输出功率设定 / 菜单控制旋钮

• 菜单开关

• 远程开关：射频开/关控制使能、输出设定开/关

• 本地开关：x0.1 / x1（输出范围）、CEX-OSC、PULSE-CW、定时器

• VFD 显示：正向（入射）功率 / 反射功率 / 反射功率超限

• 远程操作

• 定时器

• 联锁状态（冷却和外部）

• 主显示上的 AMN 读出（可选）

远程接口（通过用户端口访问）：

• 射频开/关

• 入射功率指示

• 反射功率指示

• 输出设定 0-5V = 0-100%

• 远程输出设定请求

环境条件：

• 工作温度：0-40°C（32°F-104°F）

• 存储温度：0-20°C 至 +65°C（-4 至 149°F）

冷却要求：强制风冷

其他标准：

• CE 认证

• BS EN ISO 9001:2008

• EN61000-3-2: 2006

• EN6100-3-3/A2: 2005

• EN61326-1: 2006

• EN61010-1: 2001