英国Coaxial Power Systems RFG 3K-2-AC射频发生器,RFG 3K-13-AC高频发生器,RFG 3K-27-AC射频信号发生器

英国Coaxial Power Systems RFG 3K-2-AC射频发生器,RFG 3K-13-AC高频发生器,RFG 3K-27-AC射频信号发生器

风冷型号

• RFG 3K-2-AC（3kW / 3,000 瓦）

• RFG 3K-13-AC（3kW / 3,000 瓦）

• RFG 3K-27-AC（3kW / 3,000 瓦）

RFG 3K（3.0 kW / 3,000 瓦）射频发生器是一款精密设备，适用于科学研究和工业应用。其坚固的结构采用经过验证的组件和最新设计技术，即使在恶劣环境下也能确保长期无故障运行。设备体积小巧，非常适合机架空间有限的场合使用。

该型号标准为风冷（AC），可连续运行。若操作环境存在极端温度或通风不良，可提供水冷版本。建议将该发生器与手动或自动阻抗匹配网络配合使用，这两种匹配网络均可由 Coaxial Power Systems Ltd 提供——具体详情请参阅单独小册子。

所有型号的主要特点

• 高效 E 类设计

• 标准机架安装设计，紧凑型（适合机架空间有限）

• 380-415 VAC（三相）标准，208 VAC（三相）可选，480 VAC（三相）可选

• 全机架安装，高度 3U

• 微处理器显示入射（正向）功率、反射功率及设备状态

• 精密功率控制（可在 0 至最大功率间完全调节）

• TTL/CMOS 输入可实现快速脉冲操作

• 可外部控制输出电压（在溅射涂层应用中非常有用）

• 反馈控制系统确保设定输出功率保持恒定且可重复

• 内部校准功率测量，确保整个功率范围内高精度

• 标准频率：2 MHz、13.56 MHz、27.12 MHz（非标准频率可选，请联系厂家）

• 每台发生器输出功率可在零到最大功率之间完全调节

• 入射（正向）和反射功率测量经过内部校准，确保整个功率范围内高精度

可选功能（请咨询）

• 可使用 0–5V 外部电压控制输出功率，这在溅射涂层应用中特别有用，可控制等离子体暗区产生的直流电压，而非直接控制射频功率

物理型号及变体

• RFG 3K-2-AC（2 MHz）

• RFG 3K-13-AC（13.56 MHz）

• RFG 3K-27-AC（27.12 MHz）

尺寸

• 全机架安装，高度 3U

• 宽度：445 mm（前面板宽度 482 mm）

• 长度：553 mm

• 高度：133 mm

• 外部连接器最大突出：前面板 16 mm / 后面板 25 mm

• 重量：最大 28 kg（60 lb）

• 前面板材质 / 颜色：铝制，RAL7135 浅灰色

• 机箱及盖板材质：不锈钢

连接器和电缆规格

• 射频输出连接器：7/16 型 / 50 Ω

• 用户端口连接器（模拟 & RS-232）：25 针，微型 D 型母头，带 8 mm 4-40 螺柱

• 交流电源输入连接器 / 电缆：

  • 380-415 VAC 型：AMP 连接器，7 针

  • 208 VAC 型：现场布线，带 2 米固定电缆

  • 480 VAC 型：AMP 连接器，7 针

• CEX / 驱动连接器：输入：SMA，同轴微型 / 输出：SMA，同轴微型

• 脉冲输入连接器：SMA，同轴微型

• AMNC 读出连接器（可选）：Lemo 圆形连接器，3 针

• 接地连接：M4 螺纹套管或 M5 螺柱，位于后面板

电气参数

• 电源输入：

  • 380-415 VAC（三相）- 标准

  • 208 VAC（三相）- 可选

  • 480 VAC（三相）- 可选

• 输出功率 / 阻抗：3000 W（3 kW）连续 / 50 Ω

• 输出频率及稳定性：

  • 2 MHz / ±4.1 kHz

  • 13.56 MHz / ±1.4 kHz

  • 27.12 MHz / ±2.7 kHz

• 接口选项：模拟（标准）、RS-232（可选）、Device-Net（可选）

• 效率：91%

• 输出包络纹波：小于满幅的 1%

• 驻波比（VSWR）能力：可承受任意相位角的 VSWR

• 谐波输出：比基波低 40 dB 以上

• 脉冲操作：通过后面板 SMA 输入，最小脉冲宽度 40 μs

  • 外部功率控制信号应使峰值输出在 0 到最大功率之间变化，脉冲占空比从 0 到连续（100% 占空比）

本地控制与远程接口

本地控制（通过前面板操作）：

• 电源开/关

• 射频开/关

• 数字输出功率设定 / 菜单控制旋钮

• 菜单开关

• 远程开关：射频开/关控制使能、输出设定开/关

• 本地开关：x0.1 / x1（输出范围）、CEX-OSC、PULSE-CW、定时器

• VFD 显示：正向（入射）功率 / 反射功率 / 反射功率超限

• 远程操作

• 定时器

• 联锁状态（冷却和外部）

• 主显示上的 AMN 读出（可选）

远程接口（通过用户端口访问）：

• 射频开/关

• 入射功率指示

• 反射功率指示

• 输出设定 0-5V = 0-100%

• 远程输出设定请求

环境条件

• 工作温度：0-40°C（32°F-104°F）

• 存储温度：0-20°C 至 +65°C（-4 至 149°F）

• 冷却要求：完全风冷

其他标准

• CE 认证

• BS EN ISO 9001:2008

• EN61000-3-2: 2006

• EN6100-3-3/A2: 2005

• EN61326-1: 2006

• EN61010-1: 2001