英国Coaxial Power Systems RFG 20K-13-WC射频发生器,RFG 20K-27-WC射频电源,Coaxial Power Systems进口代理
水冷型号
RFG 20K-13-WC（13.56 MHz / 20kW / 20000 瓦）
RFG 20K-27-WC（27.12 MHz / 20kW / 20000 瓦）
RFG 20K-WC（20kW / 20000 瓦）射频发生器是一款精密设备，适用于科学研究和工业应用。其坚固结构采用最新的开关模式和固态设计技术，即使在恶劣环境下也能确保长期无故障运行。设备体积紧凑，非常适合机架空间受限的场合使用。
建议将该发生器与手动或自动阻抗匹配网络配合使用，这两种匹配网络均可由 Coaxial Power Systems Ltd 提供——具体详情请参阅单独小册子。本型号为水冷（WC），可连续运行。
主要特点
高效 E 类设计
380-415 VAC（三相）- 标准，208 VAC（三相）- 可选，480 VAC（三相）- 可选
立式机柜
提供模拟和 RS-232 接口
可外部控制输出电压（在溅射涂层应用中非常有用）
反馈控制系统确保设定输出功率保持恒定且可重复
内部校准功率测量，确保整个功率范围内高精度
微处理器显示入射（正向）功率、反射功率及设备状态
精密功率控制，可在 0-100% 范围内完全调节
标准频率：13.56 MHz、27.12 MHz（非标准频率可选，请联系厂家）
每台发生器输出功率可在零到最大功率之间完全调节
入射（正向）和反射功率测量经过内部校准，确保高精度
可选功能（请咨询）：可使用 0–5V 外部电压控制输出功率，这在溅射涂层应用中特别有用，可控制等离子体暗区产生的直流电压，而非直接控制射频功率
物理型号及变体
RFG 20K-13-WC（13.56 MHz）
RFG 20K-27-WC（27.12 MHz）
尺寸
立式机柜
宽：600 mm
长：800 mm
高：1150 mm
外部连接器从后面板突出
重量：约 330 kg
前面板材质 / 颜色：铝制，喷粉涂层
机箱及盖板材质：钢制，喷粉涂层
连接器和电缆规格
射频输出连接器：1-5/8 EIA 法兰
用户端口连接器（模拟 & RS-232）：25 针，微型 D 型母头，带 8 mm 4-40 螺柱
交流电源输入连接器 / 电缆：
380-415 VAC 型：63A 3P+E（4 针）连接器
CEX / 驱动连接器：输入：SMA，同轴微型 / 输出：SMA，同轴微型
脉冲输入连接器：不适用
AMNC 读出连接器（可选）：Lemo 圆形连接器，3 针
冷却液连接器：水入口 – 8 mm 推入式连接器 / 水出口 – 8 mm 推入式连接器
接地连接：单个 45° 螺柱安装端子，尺寸 6.35 x 0.81 mm
电气参数
电源输入：
380-415 VAC（三相）- 标准
208 VAC（三相）- 可选
480 VAC（三相）- 可选
输出功率 / 阻抗：20000 W（20 kW）连续 / 50 Ω
输出频率及稳定性：
13.56 MHz / ±1.4 kHz
27.12 MHz / ±2.7 kHz
接口选项：模拟（标准）、RS-232（可选）
效率：80%
输出包络纹波：小于满幅的 1%
驻波比（VSWR）能力：可承受任意相位角的 VSWR
谐波输出：比基波低 40 dB 以上
脉冲操作
通过后面板 SMA 输入，具体请咨询厂家
本地控制与远程接口
本地控制（通过前面板操作）：
电源开/关
射频开/关
数字输出功率设定 / 菜单控制旋钮
菜单开关
远程开关：射频开/关控制使能、输出设定开/关
本地开关：x0.1 / x1（输出范围）、CEX-OSC、PULSE-CW、定时器
VFD 显示：正向（入射）功率 / 反射功率 / 反射功率超限
远程操作
定时器
联锁状态（冷却和外部）
主显示上的 AMN 读出（可选）
远程接口（通过用户端口访问）：
射频开/关
入射功率指示
反射功率指示
输出设定 0-5V = 0-100%
远程输出设定请求
环境条件
工作温度：0-40°C（32°F-104°F）
存储温度：0-65°C（-4 至 149°F）
冷却要求：放大器水冷（通过外部循环系统），驱动器风冷
水温：1-50°C（33-104°F）进水温度
流量：最小 10 LPM
其他标准
EN61000-3-2:2006
EN6100-3-3/A2:2005
EN61326-1:2006
EN55011:2009+A1:2010
EN60204-1:2006+A1:2009
UL61010-1:2004
R7.05 机械指令 2006/42/EC
低压指令 2006/95/EC
EMC 2004/108/EC
BS EN ISO 9001:2008
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