英国Coaxial Power Systems RFG 15K-AC-2/13/27/40射频发生器,高频发生器,射频电源
型号：RFG 15K-AC-2（15kW / 15,000 瓦 / 2MHz）
型号：RFG 15K-AC-13（15kW / 15,000 瓦 / 13.56MHz）
型号：RFG 15K-AC-27（15kW / 15,000 瓦 / 27.12MHz）
型号：RFG 15K-AC-40（15kW / 15,000 瓦 / 40.68MHz）
RFG 15K-AC（15kW / 15,000 瓦）射频发生器是一款精密装置，适用于科学和工业应用。其采用成熟可靠的组件结合最新设计技术，保证即使在恶劣环境下也能长期稳定运行。该发生器完全风冷，显著降低了维护需求，并便于简单安装。建议与手动或自动阻抗匹配网络配合使用。Coaxial Power Systems Ltd 提供两种类型的匹配网络，详情请参阅单独的宣传册。如果使用自动匹配网络，控制器可以安装在发生器机柜上。
所有型号主要特点：
设计成熟，使用记录可靠
强制风冷
独立 LED 显示入射（前向）功率和反射功率
精密功率控制，设定值 ±1%
通用激励器输入/输出
可选 TTL/CMOS 输入快速脉冲操作
固态/功率管设计，性能可靠
输出功率可在零到最大功率之间完全调节
反馈控制系统确保设定输出功率保持恒定且可重复
标配 2MHz、13.56MHz、27.12MHz 和 40.68MHz 频率（非标频率请联系工厂）
带旋转锁定脚轮
所有外部面板均配有安全互锁开关
380-415 VAC（三相）– 标准
208 VAC（三相）– 可选
480 VAC（三相）– 可选
输出功率可在零到最大功率之间完全调节，反馈控制系统确保设定输出功率保持恒定且可重复。入射（前向）和反射功率测量经过内部校准，在整个功率范围内保持高精度。
可选功能（请咨询）：0–5V 外部电压可用于控制输出，特别适用于溅射镀膜应用，可控制等离子体暗区上的直流电压，而非射频功率。
型号变体：
RFG 15K-2-AC（2MHz）
RFG 15K-13-AC（13.56MHz）
RFG 15K-27-AC（27.12MHz）
RFG 15K-40-AC（40.68MHz）
外形尺寸：
600mm（宽）× 800mm（长）× 1770mm（高）
外部连接器从后面板突出最多 60mm
重量：最大 510kg
前面板材质/颜色：铝制，RAL7035 浅灰色
机箱及盖板材质：不锈钢 / 铝（可选）
其他 + 安全：
旋转锁定脚轮
所有外部面板带安全互锁开关
连接器和电缆规格：
RF 输出连接器：EIA 法兰 / 50Ω
用户端口（模拟）：25 针，D 型母座，带 8mm 4-40 螺柱
交流电源输入连接器/电缆：
380-415 VAC 型：面板安装带锁插口，6 针
208 VAC 型：面板安装带锁插口，6 针
480 VAC 型：面板安装带锁插口，6 针
输入+输出 CEX / 驱动连接器：
输入：BNC 50Ω（最大 13dBm）
输出：BNC 50Ω（最大 13dBm）
脉冲输入连接器（可选）：SMA，微型同轴
电气输入功率：
380-415 VAC（三相）– 标准
208 VAC（三相）– 可选
480 VAC（三相）– 可选
放大器配置：
固态（晶体管驱动）振荡器和射频驱动
热电子管/真空功率管功率放大器
输出功率/阻抗：
15,000 瓦（15kW）连续 / 50Ω
输出频率及稳定性：
2MHz ±4.1kHz
13.56MHz ±1.4kHz
27.12MHz ±2.7kHz
40.68MHz ±4.1kHz
接口选项：
模拟（标配）、RS-232（可选）、Device-Net（可选）
效率：
≥ 84%
输出包络纹波：
小于满幅的 1%
VSWR 能力：
可承受任意相位角的 VSWR
谐波输出：
低于基频 40 dB
脉冲操作：
通过后面板 SMA 输入
最小脉冲宽度 40μs
外部功率控制信号应使峰值输出在 0 到最大功率之间变化，脉冲占空比 0 到连续（100%）
本地控制、远程接口及指示：
本地控制 / 指示：前面板控制访问
线路开/关
射频开/关
输出功率设定
脉冲/CW 开关
MCB
过载设置
远程/本地设定
反射功率限制
前面板指示灯：
射频开/关
前向/反射功率
过载
远程控制
互锁状态
驱动状态 VFD 显示
远程接口：通过用户端口访问
射频开/关
入射功率指示
反射功率指示
输出设定 0-5V = 0-100%
远程输出设定请求
诊断：
模拟仪表/LED 指示显示以下参数：
所有内部电源电压
驱动器输出入射/反射功率
功率放大器阳极和栅极电流
