英国Coaxial Power Systems 科研级大功率射频发生器RFG 100K-2/13/27/40,工业级射频电源,等离子体射频电源
型号：RFG 100K（100kW / 100,000 瓦）
RFG 100K 射频发生器是一款精密装置，适用于科学和工业应用。其采用成熟可靠的组件结合最新设计技术，即使在恶劣环境下也能保证长期稳定运行。该发生器具有风冷驱动器和水冷放大器。建议与手动或自动阻抗匹配网络配合使用。Coaxial Power Systems Ltd 提供两种类型的匹配网络，详情请参阅单独宣传册。如果使用自动匹配网络，控制器可以安装在发生器机柜上。
所有型号主要特点：
设计成熟，使用记录可靠
风冷驱动器 / 通过外部循环水系统水冷放大器
独立 LED 显示入射（前向）功率和反射功率
精密功率控制，设定值 ±1%
通用激励器输入/输出
可选 TTL/CMOS 输入快速脉冲操作
固态/功率管设计，性能可靠
输出功率可在零到最大功率之间完全调节
反馈控制系统确保设定输出功率保持恒定且可重复
标配 2MHz、13.56MHz、27.12MHz 和 40.68MHz 频率
所有外部面板均配有安全互锁开关
电源：380/415 VAC 三相 / 五线（140 kVA）– 标准
208 VAC（三相）– 可选
480 VAC（三相）– 可选
输出功率可在零到最大功率之间完全调节
入射（前向）和反射功率测量内部校准，保证高精度
可选功能（请咨询）：0–5V 外部电压可用于控制输出，特别适用于溅射镀膜应用，可控制等离子体暗区上的直流电压，而非射频功率
一般规格：
输出频率：
RFG 100K-2：2MHz
RFG 100K-13：13.56MHz
RFG 100K-27：27.12MHz
RFG 100K-40：40.68MHz
输出功率：100kW / 80,000 瓦
频率稳定性（晶体控制）：
2MHz ±4.1kHz
13.56MHz ±1.4kHz
27.12MHz ±2.7kHz
40.68MHz ±4.1kHz
效率：≥84%
输出阻抗：50Ω
输出连接：EIA 法兰（3-18 EIA / 50Ω）
功率控制：
模拟控制系统，可实现功率或外部反馈控制
输出稳定性：线路变化 ±15% 时功率稳定 ±1%
VSWR 能力：可承受任意相位角的 VSWR
谐波输出：低于基频 40dB
输出包络纹波：小于满幅 1%
脉冲操作（可选）：
TTL 输入，通过后面板 SMA 插座
最小脉冲宽度 10μs
最小占空比 5%，最小频率 100Hz
前面板显示通过采样/保持技术自动显示脉冲输出水平
通用激励器：
BNC 输入 50Ω（最大 13dBm）
RF 输出采样：
定向耦合器，带 N 型输出，提供入射/反射功率信号
信号输入：
N 型输入 50Ω（最大 13dBm）
电源：
380-415 VAC（三相）– 标准
208 VAC（三相）– 可选
480 VAC（三相）– 可选
外部反馈：
远程射频开/关请求
前面板指示：
射频开 / 射频关
过载
远程控制
入射功率
反射功率
互锁状态
驱动器状态 VFD 显示
前面板控制：
电源开/关
设备开/关
射频开/关
反射功率限制
输出功率调节旋钮
脉冲/CW 开关
MCB
过载设置
远程/本地切换
后面板：
远程连接器（25 针 D 型）
通用激励器输出（SMA）
通用激励器输入/外部信号源（SMA，最大 13dBm）
电源输入（I.E.C.）
AMN 显示（可选）
RF 输出连接器（N 50Ω）
电源开关
脉冲（可选）
远程控制（后面板 25 针 D 型插座）：
射频开/关（开路集电极 100mA）
射频开/关 + 互锁（接点闭合）
入射/反射功率
BNC 输出 50Ω（7dBm）
输出设定 0–5V = 0–100%
远程输出设定请求
仪表：
3½ 位 LED 显示入射（前向）和反射功率
诊断：
模拟仪表/LED 指示显示以下参数：
所有内部电源电压
驱动器输出入射/反射功率
功率放大器阳极电流
功率放大器栅极电流
放大器配置：
固态振荡器和射频驱动
热电子管 / 真空功率管功率放大器
标准：
EN61000-3-2:2006
EN61000-3-3/A2:2005
EN61326-1:2006
EN61010-1:2001
CE 认证
ROHS
外形尺寸：
长度：2200mm
宽度：1200mm
高度：2210mm（后部外部连接器可额外突出 60mm）
注：本设备可按要求定制尺寸
安全：
所有外部面板均配有安全互锁开关
面板/外壳：
前面板：RAL7035 浅灰色
后面板：不锈钢
盖板：不锈钢（可选铝制）
后面板：可选铝制
工作环境：
工作温度：0–35°C
存储温度：-20°C 至 +65°C
冷却：驱动器强制风冷；放大器通过外部循环水系统水冷
进/排风：通过后部和机箱周围排风
备注：
脉冲为可选功能
可选定制尺寸/格式
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