英国Coaxial Power Systems 射频发生器RFG-C 50 / 100 / 150 / 300 / 600 – 13/27,RFGC-600,射频功率发生器,射频电源
型号：RFGC-600（600W）
RFGC-600 射频发生器是一款精密装置，适用于科学和工业应用。其采用最新的开关模式和固态设计技术，结构坚固可靠，即使在恶劣环境下也能保证长期稳定运行。本设备为组合单元，包括射频发生器（RF Generator）、自动匹配网络（Automatic Matching Network）及控制单元（Controller Unit），集成于 2U 全机架（Full Rack）机箱中。发生器完全风冷，显著降低维护需求并便于安装。设备体积小巧，非常适合机架空间受限的场合使用。
建议该发生器与手动或自动阻抗匹配网络配合使用。两种类型均可通过 Coaxial Power Systems Ltd 购买，详情请参阅单独宣传册。
可用型号：
RFG-C 050-13 / 27MHz
RFG-C 100-13 / 27MHz
RFG-C 150-13 / 27MHz
RFG-C 300-13 / 27MHz
RFG-C 600-13 / 27MHz
主要特点：
高效 Class-E 设计
标准机架安装设计
小巧紧凑（适合机架空间受限）
110/240 VAC 单相电源（标准，可选其他电压）
19 英寸机架，2U 高（89mm）
模拟和 RS-232 接口可用
微处理器显示入射功率（Forward）、反射功率（Reflected）及设备状态
精密功率控制 ±1%
可选 TTL/CMOS 输入快速脉冲操作
组合单元：发生器 + 匹配网络 + 控制器
外部控制输出电压（适用于溅射镀膜应用）
反馈控制系统确保设定输出功率恒定且可重复
内部校准功率测量，保证整个功率范围高精度
标配频率：380kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz（非标频率可联系工厂）
可选功能：0–5V 外部电压可控制输出，特别适用于溅射镀膜应用
物理型号变体：
RFG-C 50 / 100 / 150 / 300 / 600 – 13（13.56 MHz）
RFG-C 50 / 100 / 150 / 300 / 600 – 27（27.12 MHz）
尺寸：
全机架安装，2U 高
长度：502 mm
高度：89 mm
宽度（不含前面板）：445 mm
宽度（含前面板）：482 mm
重量：13.5 kg（30 lb）
前面板材质 / 颜色：铝材，RAL7135 浅灰色
机箱及盖板材质：不锈钢
连接器与电缆：
RF 输出：N 型 / 50 Ω
用户端口（RFG）：25 针 D 型母座，带 8mm 4-40 螺柱
用户端口（AMN）：15 针 D 型公座，带 8mm 4-40 螺柱
AC 电源输入：IEC 插座
输入/输出 CEX / 驱动连接器：SMA 同轴微型
脉冲输入：SMA 同轴微型
AMNC 读出接口（可选）：Lemo 圆形 3 针连接器
接地：M4 螺纹螺套
电气规格 – 一般：
输入电源：110–240 VAC 单相，50/60Hz（其他选项可联系）
输出功率 / 阻抗：最高 600 W 连续 / 50 Ω（可选 0–50W / 0–100W / 0–150W / 0–300W / 0–600W）
输出频率 / 稳定性：
13.56 MHz ±1.4 kHz
27.12 MHz ±2.7 kHz
接口选项：模拟（标准）、RS-232（可选）、Device-Net（可选）
效率：最高 90%
输出包络纹波：小于满幅 1%
VSWR 能力：可承受任意相位角的 VSWR
谐波输出：低于基频 40 dB
脉冲操作（通过后面板 SMA 输入）：最小脉冲宽度 40 μs，占空比可从 0% 到 100%
电气规格 – 网络：
网络配置：‘L’、‘Pi’ 或 ‘T’，默认提供 ‘L’ 网络
输出阻抗范围：
‘L’ 网络：5–20 Ω
‘Pi’ 网络：10–200 Ω
‘T’ 网络：请咨询工厂
相位偏移：0 至 ±160
调谐范围：依设备频率及安装线圈而定
频率范围：380 kHz–84 MHz，可根据用户要求配置
电容器：负载/调谐均为空气翼型
电感器：风冷固定电感
本地控制与远程接口 – AMNC 端：
本地控制（按钮 + LCD 显示）：
手动/自动选择按钮
驱动按钮（最大/最小）
调谐电容位置显示
负载电容位置显示
电容基准位置设置
暗区偏压显示（如配备）
远程接口：
调谐电容位置
负载电容位置
电容基准位置设置
暗区偏压（如配备）
本地控制与远程接口 – RFG 端：
本地控制（前面板）：
电源开/关
射频开/关
数字输出功率设定 / 菜单控制旋钮
菜单开关
远程开关：射频控制启用，输出设定开/关
本地开关：x0.1 / x1（输出范围）、CEX-OSC、PULSE-CW
定时器
LCD 显示：入射功率 / 反射功率 / 反射功率超限、远程操作、定时器、互锁状态（冷却及外部）
AMN 读数显示（可选）
远程接口（用户端口）：
射频开/关
入射功率显示
反射功率显示
输出设定 0–5V = 0–100%
远程输出设定请求
环境：
工作温度：0–40°C
存储温度：-20–65°C
冷却：风冷
其他标准：CE 认证，BS EN ISO 9001:2008，EN61000-3-2:2006，EN61000-3-3/A2:2005，EN61326-1:2006，EN61010-1:2001
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