英国Coaxial Power Systems 射频发生器 RFG 5K-AC-2/13/27/40,大功率射频发生器,射频电源
型号
RFG 5K-AC-2（5kW / 5000 瓦 / 2 MHz）
RFG 5K-AC-13（5kW / 5000 瓦 / 13.56 MHz）
RFG 5K-AC-27（5kW / 5000 瓦 / 27.12 MHz）
RFG 5K-AC-40（5kW / 5000 瓦 / 40.68 MHz）
所有型号主要特点
设计成熟，性能可靠。
风冷设计。
独立 LED 显示入射（正向）功率和反射功率。
精密功率控制：设定点 ±1%。
通用激励器输入/输出。
可快速脉冲操作（TTL/CMOS 输入，可选）。
固态/功率管设计，性能可靠。
输出功率可在零到最大功率之间完全调节。
反馈控制系统确保设定输出功率恒定且可重复。
标准频率：2 MHz、13.56 MHz、27.12 MHz 和 40.68 MHz（非标准频率可选，请联系厂家）。
万向锁定脚轮，方便移动。
所有外部面板配备安全联锁开关装置。
电源：380-415 VAC（三相）- 标准，208 VAC（三相）- 可选，480 VAC（三相）- 可选。
可选功能：可通过 0–5V 外部电压控制输出功率，尤其适用于溅射涂层应用，可控制等离子体暗区产生的直流电压，而非直接控制射频功率。
概述
RFG 5K-AC（5kW / 5000 瓦）射频发生器是一款精密设备，适用于科研和工业应用。其坚固结构采用成熟可靠的组件及最新设计技术，即使在恶劣环境下也能长期稳定运行。完全风冷设计显著减少维护需求，并可简便安装。建议与手动或自动阻抗匹配网络配合使用，Coaxial Power Systems Ltd 可提供两种类型匹配网络。若使用自动网络，控制器可安装于发生器机柜上。
外部反馈与远程功能
远程射频开/关请求
前面板指示灯显示：
射频开
射频关
过载
远程控制
入射功率
反射功率
联锁状态
驱动器状态 VFD 显示
前面板控制：
电源开/关
机器开/关
射频开/关
反射功率限制
输出功率设定旋钮
脉冲/连续波开关
微型断路器（MCB）
过载设定
远程/本地切换
后面板：
远程连接器（25 针 D 型）
通用激励器输出（SMA）
通用激励器输入/外部信号源（SMA，最大 13 dBm）
电源输入（I.E.C. 接口）
AMN 显示（可选）
射频输出连接器（N 型，50 Ω）
主电源开关
脉冲（可选）
远程控制（后面板 25 针 D 型插座）
射频开/关（开路集电极 100mA）
射频开/关 + 联锁（闭合触点）
入射/反射功率
BNC 输出 50 Ω（7 dBm）
输出设定 0–5V = 0–100%
远程输出设定请求
仪表
3 1/2 位 LED 显示入射（正向）和反射功率。
模拟仪表 / LED 指示显示以下参数：
所有内部电源电压
驱动器输出入射/反射功率
功率放大器阳极电流
功率放大器栅极电流
放大器配置
固态振荡器及射频驱动器
热电子真空功率管功率放大器
标准
EN61000-3-2:2006
EN61000-3-3/A2:2005
EN61326-1:2006
EN61010-1:2001
CE 认证
ROHS 合规
尺寸
长：800 mm
高：1200 mm
宽：600 mm
（后部外部连接器可能额外突出 60 mm）
可根据需求定制尺寸，请联系厂家
其他
万向锁定脚轮
所有外部面板配备安全联锁开关装置
前面板：RAL7035 浅灰色
后面板及机盖：不锈钢
机盖（可选）：铝制
后面板（可选）：铝制
环境条件
工作温度：0–35°C
存储温度：-20 至 +65°C
冷却：强制风冷
进风：从后方
排风：绕机箱盖排出
备注
脉冲功能为可选项
可定制尺寸/格式
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