Mark 50® 系统
Mark 50 系统已成为高真空沉积系统的行业标准。其设计简洁、操作简便且可靠性无与伦比，使 Mark 50 成为广泛应用的理想选择。该系统采用水平式 32 英寸 × 32 英寸水冷圆柱形腔体，简化了装卸载流程。独特的下滑式前门最大限度地减少占地面积，后门设计便于从后方接触腔体，轻松实现穿墙安装。系统符合 SECS/GEM 与 CE 标准。
双模式操作（溅射与蒸发）
移动基板
卓越的薄膜均匀性（取决于夹具）
向上溅射
工艺工位
圆形阴极，射频或直流（最多4工位）
共沉积
偏压，射频或直流
基板加热，400°C，多区控制
工位基板加热
电子束蒸发
热蒸发
离子束预清洗/刻蚀
等离子体织构化/刻蚀
电源选项
电子束：6/10/15 kW
溅射：1/3/5/15/30 kW
加热器：6/10/16 kW
热蒸发：1/5/10 kW
工艺腔室
原位光谱仪
坩埚式蒸发源
前后门便捷访问
可调源-基距
可定制接口位置，观察口与残余气体分析口
源隔离
自动晶圆装卸载
卷材镀膜
卷材装卸载推车
工艺腔室尺寸：32″ x 32″
沉积夹具
标准：可调角度行星式
可选：转盘式、旋转穹顶式
可选：平面行星式（3或4工位）
精密驱动卷材系统
挡板
抽气系统
干泵或油封粗抽泵
再生选项
经典的直角抽气/管路布局
卓越的抽气性能
高真空阀，垂直密封，16英寸
前级与粗抽阀，垂直密封，3英寸
大型制冷蒸汽泵选项
最小CFM机械泵
分子筛捕集器
液氮冷阱，25升泵阱，可选水泵
液氮液位控制
电离规控制器
气体控制系统
抽气方案选项
低温泵
涡轮分子泵
扩散泵
极限真空
系统：10^-9 Torr
腔体：10^-8 Torr
低温盘管
对工艺腔室中的水蒸气及其他可凝气体具有 50,000 升/秒 的抽速
公用设施
供水：10 GPM
供气：85-125 PSIG
占地面积
79.5英寸(宽) × 64英寸(深) × 78.5英寸(高) （若配备ISO源，高度增加21英寸）
