ResMap 178 Solar 8英寸光伏专用方块电阻测试仪
ResMap 178 Solar为台式手动四探针方阻测量设备，专为光伏硅片、导电薄膜、半导体晶圆方块电阻检测设计，支持2英寸至8英寸圆形晶圆及152mm×152mm方形光伏片，测量量程宽、精度与重复性表现优异，适配光伏产线质检、实验室薄膜电阻率表征场景。
产品规格参数
| 参数项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 设备型号 | 178 Solar |
| 设备类型 | 台式机型 |
| 晶圆上料方式 | 手动装载 |
| 兼容样品尺寸 | 2英寸～8英寸圆形晶圆；最大152mm×152mm方形硅片 |
| 微环境配套 | 无 |
| 探针自动更换组件 | 无 |
| 自动对位模组 | 无 |
| 整机外形尺寸 | 12英寸 × 19英寸 × 10英寸 |
| 方块电阻测量量程 | 1mΩ/□ ～ 10MΩ/□（毫欧/方 至 兆欧/方） |
| 测量精度 | ±0.5% |
| 静态测量重复性 | 0.02% |
| 动态多点扫描重复性 | 0.1% |
产品核心优势
- 宽量程覆盖：1毫欧至10兆欧方块电阻，适配重掺杂硅片、透明导电膜、金属薄膜全场景检测
- 超高测量稳定性：静态重复性低至0.02%，动态扫描重复性0.1%，长期测试数据无漂移
- 高精度溯源：整机测量精度达0.5%，符合半导体、光伏行业计量标准
- 兼容光伏主流片型：同时支持8寸以内圆片与152mm方形光伏电池片，一机多用
- 台式紧凑型设计，手动上料操作简单，无需复杂自动化配套，实验室/小型产线均可部署
典型应用领域
太阳能光伏电池扩散片、选择性发射极、钝化膜、透明导电薄膜、半导体硅衬底、金属导电镀层、科研实验室导电薄膜电阻率标定与均匀性面扫描检测。
