防爆型电子秤
- 适用于半导体工艺中的气体供应系统和相关设备
- 易于安装与使用
- 采用 4~20 mA 模拟输出
- 产品的生产与包装均在 CAS Semiconductor 工厂完成
- 通过 CE 认证,获得 NEPSI T4、T6 防爆认证
产品特点
目前,半导体生产线各工艺环节中使用了多种气体,包括 HF、Cl₂、Ar₂、He₂、NH₃、SiH₄、PH₃ 和 Cl₂ 等。
这些气体中存在可燃性气体,因此存在爆炸危险,若缺乏防护措施,将容易引发工业事故。
若设备未直接暴露于气体环境,仅采用耐压防爆(例如外壳密封)已属安全;
但在如 BSGS 等气体设备和气瓶密集场所,为防止气体泄漏扩散导致事故,应使用本质安全型防爆电子秤。
该电子秤通过了本质安全防爆认证(即各电气部件均具备本安防爆结构),
可阻断爆炸的发生,适用于 Zone 0、Zone 1 和 Zone 2 危险区域。
根据本质安全防爆认证规范,关键部件如齐纳二极管、电流限制电阻,以及印刷电路板(PCB)图案布线应满足以下条件:
不产生超过气体点燃温度的热量
无故障运行
同时,产品的外壳、连接器、接地(GND)、防护等级(如 IP 等级)等也必须满足安全要求。
技术规格
型号:CS-EXWS-200EY-0
称重范围:0 ~ 200 kg
精度:±0.1% 满量程
供电:24V DC
输出:4~20 mA(2线制)
尺寸:235 × 350 × 35 mm
防爆等级:EX ia IIC T4
a. 外部转换器不适用防水等级
b. 外部转换器由系统外部供电
湿度适用范围:相对湿度 45% ~ 75%
信号转换器:外置转换器(External Converter)