蒸发源 系列：HCR

HCR 系列旋转式电子枪™是一种全金属密封的电子枪™，有 3 到 8 个坩埚版本，允许连续沉积多达 8 种材料。标准安装在 12 英寸外径的 CF 法兰上，包括自动分度器以及所有机械和电气连接。

蒸发源 系列：HCR 旋转式喷枪™

HCR 系列旋转式电子枪™是一种全金属密封的电子枪，有 3 到 8 个坩埚版本，允许连续沉积多达 8 种材料。标准安装在 12 英寸外径的 CF 法兰上，包括自动分度器以及所有机械和电气连接。

特征

• 提供 3 至 8 个坩埚
• 270° 光束偏转
• 多个坩埚，旋转设计
• 可互换的坩埚组件
• 长寿命发射器组件
• 轻松更换细丝
• 永磁梁定位
• 整体扫掠线圈
• 提供底部或侧面驱动

规格

特征	规格
最大功率	10 千瓦
发射电压	-6 至 -10 kV
发射电流	0 至 1 A
灯丝	700 瓦
电子束偏转	270°
光束光斑尺寸	.25“ 直径，紧密横梁
蒸发速率	1 克/分钟 @ 10 kW 36,000 Å/min 铝 @ 10 英寸（250 毫米）光源到基底的距离
X 和 Y 扫描	使用 Thermionics 扫描控制器运行时，纵向和横向控制高达 200 Hz
水	3 gpm，20°C，50 psi 压差
坩埚材料	OFE 铜缆
烘烤温度	120°C （250°F）

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安装配置

每个 e-Gun™ 都提供三种标准安装配置：

1. e-Gun™ 安装在 PyraFlat 或 ConFlat 金属密封型法兰上，使用标准 OFE 铜垫圈
2. e-Gun™ 带有 1 英寸直径的螺栓式安装座，可通过 1 英寸直径的孔安装，并由压缩 O 形圈密封
3. 单独使用 e-Gun™，无需安装法兰

请在下订单时指定安装配置;成本可能不包括螺栓型或法兰型安装。