Novascan,PSD-UV,台式紫外臭氧清洗机,用于电子、半导体、光学和科学行业

Novascan,PSD-UV,台式紫外臭氧清洗机,用于电子、半导体、光学和科学行业 PSD-UV - 台式紫外臭氧清洗机 PSD标准系列和PSDP Pro系列的数字控制仪器设计用于电子、半导体、光学和科学行业的应用。汞蒸汽灯生成紫外光和臭氧，从而实现硅、氮化硅、玻璃、金属、陶瓷及其他材料的原子级清洁。PSD和PSDP也可以用于紫外固化、紫外图案化、AFM探针的锐化、臭氧刻蚀等。 PSDP Pro系列仪器提供额外的数字控制，并可以升级为PID加热台系统。PSD标准仪器提供方便易用的数字预设控制，性价比高。 PSD标准和PSDP Pro系统的尺寸范围从适合AFM探针和显微镜载玻片的4x4英寸UV系统，到能够处理多个晶圆或LCD面板的大型12x16英寸UV系统。 有关UV清洗机型号、样品尺寸和系统价格的信息，请填写页面底部的“联系我们”部分。 特点

• PSD和PSDP去除有机污染物
• UV灯产生185nm和254nm的紫外光
• 产生O3并提供分子激发
• 在大气压力下使用环境空气或氧气运行
• 多个气体端口用于引入气体
• 样品台具有可调节的样品与灯之间的距离
• 配有安全开关以防止用户暴露于紫外光下
• 操作简单，体积小巧
• 一流的技术支持和客户服务

适用基材

• 硅
• 砷化镓
• 玻璃
• 石英
• 云母
• 蓝宝石
• 金属
• 陶瓷
• 聚合物
• 抗蚀剂

常见紫外/臭氧应用

• AFM探针清洁/探针锐化
• 半导体表面氧化和准备
• 清洁镜头和光学元件
• 改善表面润湿性
• 清洁石英和陶瓷表面
• 薄膜沉积前的准备
• 紫外固化
• 表面图案化
• 臭氧刻蚀

[caption id="attachment_147" align="alignnone" width="569"] Novascan,PSD-UV,台式紫外臭氧清洗机,用于电子、半导体、光学和科学行业[/caption]