
石英天平 QO 40A1 测量涂层厚度 蒸发膜和溅射镀膜
石英天平QO 40A1可在沉积过程中实时、渐进地指示涂层厚度,从而在涂层生产中实现高精度和可重复。可以监测蒸发膜和溅射镀膜的厚度。传感器头是一个水冷式非磁性外壳,永久放置在真空系统中。晶面与水冷馈通管平行。石英天平 QO 40A1 安装在带有两个 Ø40 管和 Microdot S-6 同轴连接器的 DN 50CF 法兰上。定制插入长度 130 – 500 mm(可根据要求提供其他)。 技术数据:
安装法兰 | DN 40CF(可旋转) |
最高工作温度 | 最高 300°C(带水冷) |
水冷(必需) | 水流量 > 0.5 l/min 温度: 20 – 30 °C 最大压力: 6 巴 |
晶体频率 | 4.8 – 6 MHz,直径 14 mm(行业标准) |
插入长度 | 取决于腔室的规格和几何形状 |
烘烤温度 | 最高 150 °C |
- 水碰撞传感器头
- 易于更换的石英
- 定制插入长度
- 带或不带集成手动/电动气动快门不同的安装法兰(例如DN 40 KF)
- 可根据要求提供其他石英平衡几何形状(例如垂直头部几何形状)
- 线性移位
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