EC系列XYZ机械手以最低的成本提供高精度定位,可容纳1.39”和1.87”内径的波纹管,行程可达6”,有效负载能力可达10磅。
Thermionics EC
Thermionics EMC
Thermionics EMX
Thermionics FB
Thermionics FM
Thermionics EB
Thermionics XYZ
EC系列XYZ机械手
EC系列XYZ机械手以最低的成本提供高精度定位,可容纳1.39”和1.87”内径的波纹管,行程可达6”,有效负载能力可达10磅。
特征
- 完全组装后可烘烤至200°C;建筑中不使用铸件
- 硬化钢X和Y交叉辊导轨
- 双0.75″外径硬化不锈钢Z导杆
- 铝制舞台结构
- 暴露在真空中的纯不锈钢材料
- 全位置操作
x轴和Y轴
- 0.5”X和Y行程,圆形模式,预加载千分尺至载物台耦合,0.001”千分尺分度
- 可烘烤至200摄氏度的微米
z轴
可选项
6”底座法兰–
型号:-B600C
- 将底座法兰改为6.0″外径。
- 该选项可与任何型号一起订购
6英寸底座法兰,带5个微型端口——
型号:-B600MC
- 将底座法兰改为外径6.0英寸,带5个小端口
- 该选项仅可与1.39英寸内径的波纹管一起订购
XY千分尺,0.5英寸行程-
型号:/LM


Axis
|
Micrometer
Graduation
|
Resolution
|
Repeatability
|
Backlash
|
Adjustment
|
X-Y |
0.001″ |
<0.001″ |
<0.00015″ |
<0.00015″ |
Standard
Micrometer |
Z |
0.0005″ |
<0.0005″ |
0.0005″ |
0.0007″ |
Knob Adjust |
X-Y |
0.0001″ |
<0.0001″ |
<0.00015″ |
<0.00015″ |
Optional
Large Micrometer |
Base Flange O.D.
|
Bellows
I. D.
|
Travel
Flange
|
Z Travel
|
Model No.
|
2.75 |
1.39 |
2.75 |
2 |
EC-B275C-T275T-1.39-2 |
2.75 |
1.39 |
2.75 |
4 |
EC-B275C-T275T-1.39-4 |
2.75 |
1.39 |
2.75 |
6 |
EC-B275C-T275T-1.39-6 |
4.5 |
1.87 |
2.75 |
2 |
EC-B450C-T275T-1.87-2 |
4.5 |
1.87 |
2.75 |
4 |
EC-B450C-T275T-1.87-4 |
4.5 |
1.87 |
2.75 |
6 |
EC-B450C-T275T-1.87-6 |
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