Idonus Sarl Wet Processing Wafer Chuck - WPWC [P1001-032] WPWC100 夹具

Mechanical clamping for small size samples Ring with 4 clamps
Mechanical clamping ring for 100mm wafer
Mechanical clamping ring for 100mm wafer
Mechanical clamping ring for 100mm wafer
size: 100mm
For KOH or TMAH or HF etching
Wafer size: 100mm, primary + secondary flat
Wafer thickness: to be defined +/- 80um
Edge exclusion: 4 mm
Backside protected
Ventilation tube 150mm
Sealing rings KOH or TMAH or HF resistant
 

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Idonus Sarl

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