ECB——模拟可变延迟器
电子控制双折射（ECB）是最具多功能性的向列模式之一，其特定波长的延迟量可通过模拟方式进行控制。ECB在0伏电压时具有最大延迟量，随着电压升高，延迟量逐渐减小至最小值。这种双折射变化是液晶倾斜角（也称极角，即分子长轴与基板法线之间的夹角）的函数。

液晶可变延迟器

为每个特定波长调整独特的延迟。将特定波长的延迟设置为半波会创建平面偏振旋转器。将延迟设置为波长的四分之一波会产生圆偏振。

液晶可变衰减器

LCVA 是固态、压控模拟衰减器，对比度为 1000：1。高消光器件通常需要补偿板来校正 ECB 模式器件常见的 LC 表面引脚。

相位控制 – OPL 变化

输入偏振的光程长度 （OPL） 可以通过电压控制来改变。这是通过将线性偏振与可变缓速器的慢轴对齐并调制电压来实现的。

半导体光刻系统

ECB Liquid Crystal Devices
液晶可变缓速器

用于激光写入器掩模对准系统的 BVO ECB LC 组件

精密 ECB LC 设备
BVO 开发液晶实验室

玻璃	Eagle XG 显示玻璃或抛光熔融石英
厚度	1-2mm厚：使用标准显示玻璃 制成的薄型器件6-8mm厚：使用熔融石英制成的低波前畸变器件
外部尺寸	最大尺寸 – 90 毫米 |最小尺寸 – 12 毫米
通光光圈 （CA）	2 毫米内部垫圈和 2 毫米平台
抛光	反并联
透射波前失真	抛光玻璃设备：25 波，清晰光圈
BBAR 涂层	可选涂层
对比度	500：1 标准，1000：1 补偿
开关速度	低至 15-20 毫秒，10-90% 全周期（细胞间隙厚度的函数）
带宽	可见光或近红外
温度范围	10°C 至 60°C
伤害阈值	500 瓦/厘米2 CW .5 焦耳/厘米2 10 纳秒脉冲 @ 1064nm 典型值

ECB 精密部件是包含复杂规格的手工设备。高均匀性、快速响应时间或补偿膜堆是典型的升级要求。液晶衰减器为相应的带宽提供适当的线性偏振器。

“现成”产品 – ECB 可调谐缓速器

为实验室做好准备

预填充液晶电池，有线并可随时发货

特征

• 低波前失真
• 通光孔中无垫片
• 低散射装置
• 全波延迟 @ 700nm
• < 通光孔径上 2% 的不均匀性
• 可选补偿膜

电压与延迟

ECB液晶可变缓速器的电压与延迟曲线。具有 700nm 阻滞的高均匀性电池。点击放大。